合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 失效分析技术

> 圆片级封装的MEMS芯片的开盖装置及开盖方法

圆片级封装的MEMS芯片的开盖装置及开盖方法

898   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:01:24
圆片级封装的MEMS芯片的开盖装置，由开盖夹具、电炉和真空系统组成，开盖夹具置于电炉上，电炉置于真空室中；开盖夹具由顶层、上层、下层、导向杆和牵引装置组成，导向杆从顶层和上层穿过，固定在下层上，牵引装置位于顶层和上层之间，顶层的主体是顶板，顶板通过顶螺丝固定在导向杆上；下层的主体是下板，下板上有下固定夹板和下活动夹板，下螺丝与下活动夹板连接；上层的主体是上板，上板上有上固定夹板和上活动夹板，上螺丝与上固定夹板连接。圆片级封装的MEMS芯片的开盖方法，是在真空中熔化焊料，通过牵引装置将盖板与MEMS结构层分离，除去圆片级封装的MEMS芯片的盖板，为后续失效分析做准备。
声明：
“圆片级封装的MEMS芯片的开盖装置及开盖方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
失效分析
上一个：订单回退处理系统、处理方法以及业务支撑系统
下一个：环烷酸与硫共存环境碳钢腐蚀速率的确定方法

与 “圆片级封装的MEMS芯片的开盖装置及开盖方法” 相关技术

▪ 可切削矿壁的采矿掘进机
▪ 沸石转轮蓄热式催化燃烧设备
▪ 拍击式振动筛
▪ 浮选机中铁矿石浮选水再利用系统
▪ 分析热轧精轧机工作辊水平自激振动的动力学建模方法
▪ 具有筛分功能的排尘离心通风机
▪ 耐腐蚀的粉碎机刀片
▪ 电缆桥架弯曲试验机
▪ 用于物品分选机的敲击机构及物品分选机
▪ 超声臭氧光催化氧化的废水预处理装置

相关失效分析设备推荐

WEW-100微机控制屏显万能材料试验机
土壤重金属检测仪
土壤水份测量仪
土壤养分测定仪
土壤养分测试仪品牌
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 东亚资源再生技术国际会议
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪可切削矿壁的采矿掘进机
▪沸石转轮蓄热式催化燃烧设备
▪拍击式振动筛
▪浮选机中铁矿石浮选水再利用系统
▪分析热轧精轧机工作辊水平自激振动的动力学建模方法
▪具有筛分功能的排尘离心通风机
▪耐腐蚀的粉碎机刀片
▪电缆桥架弯曲试验机
▪用于物品分选机的敲击机构及物品分选机
▪超声臭氧光催化氧化的废水预处理装置

报名参会
更多+

2024中国结构材料大会暨第十届全国有色金属结构材料制备/加工及应用技术交流会
2024中国结构材料大会暨第十届全国有色金属结构材料制备/加工及应用技术交流会
2024年05月24日 ~ 26日
2024煤-电-化固废资源化利用技术交流会
2024煤-电-化固废资源化利用技术交流会
2024年05月24日 ~ 26日
2024金属增材制造及注射成形技术与应用交流会
2024金属增材制造及注射成形技术与应用交流会
2024年06月14日 ~ 16日
2024再生铝产业技术进步与减污降碳创新研讨会
2024再生铝产业技术进步与减污降碳创新研讨会
2024年06月14日 ~ 16日
第二届材料热处理与表面工程技术应用交流会
第二届材料热处理与表面工程技术应用交流会
2024年06月28日 ~ 30日

有色行业热搜排行

报告下载

1 实验室管理与实践
下载:51
2 化学实验室暖通系统设计新趋势
下载:50
3 矿产品样品制备要点与难点分析
下载:44
4 质检部门风险防控管理的探讨 （矿
下载:40
5 ICP-MS/MS测定有色金属中
下载:37
6 电位滴定法在北矿检测实验室的应
下载:33
7 电位滴定仪在有色金属分析的应用
下载:32
8 金精矿制样与分析方法的研究
下载:32
9 国家标准《铜精矿及主要含铜物料
下载:31
10 全面禁止洋垃圾入境形势下的固废
下载:31
第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
推广

热门技术
更多+

1压力平衡机构
2防爆阀保护膜
3水电站的尾水预埋件
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记