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高分辨率微显示器缺陷修复方法

989   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 09:02:35
本发明公开了一种高分辨率微显示器缺陷修复方法,所述方法具体包括如下步骤:S1、定义亮点的亮度阈值,定位微显示器中的亮点坐标;S2、将亮点坐标导入聚焦粒子束设备,聚焦粒子束设备对亮点坐标对应的像素进行缺陷修复。本发明通过使用自动点屏和光学测试设备自动定位缺陷坐标,FIB设备根据缺陷坐标自动定位,FIB直接沉积遮挡层或者先切割再沉积保护层,从而实现缺陷的自动定位和自动修补,解决了激光修补精度差,不能修补微显的问题,同时避免了激光修补热效应导致的邻近像素失效和封装失效的问题。
声明:
“高分辨率微显示器缺陷修复方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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