本实用新型涉及离子束抛光机技术领域,尤其涉及一种高精度大口径平面离子束抛光机。
背景技术:
离子束抛光技术是利用离子溅射原理,通过在真空状态下离子源引束产生等离子体能量束流,束流轰击工件表面产生原子级别的材料去除从而实现光学元件的高精度加工。
传统的离子束抛光机在对工件的不同面进行抛光采用人工手动翻转,这种方式打断了抛光作业节奏,而且费时费力,降低抛光效率,且增大了作业风险。
技术实现要素:
本实用新型的目的是为了解决现有技术中离子束抛光机不便同时对工件的多个不同的表面进行抛光的问题,而提出的一种高精度大口径平面离子束抛光机。
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
一种高精度大口径平面离子束抛光机,包括底板和壳体,所述壳体固定设置于底板的上表面,所述壳体的内部两端均设置有往复丝杆,两个所述往复丝杆的两端均通过第一滚动轴承与对应的所述壳体的侧壁转动连接,两个所述往复丝杆的杆壁均螺纹套接有滑块,两端所述滑块的内侧分别固定设置有离子束发生器和u型框,所述壳体的左侧上端设置有电机且电机的输出端与上端所述往复丝杆的左端固定连接,两个所述往复丝杆的右端均延伸至壳体的外侧且均固定套接有皮带轮,两个所述皮带轮通过皮带转动连接,所述u型框的内部上端两侧均通过转杆转动设置有u型板,两个所述u型板的内部均设置有压板,两个所述压板的上端均通过第二滚动轴承转动设置有螺纹杆,两个所述螺纹杆的上端均与对应的u型板的侧壁螺纹连接,两个所述螺纹杆的上端均延伸至对应的u型板的外侧,所述壳体的内部两侧设置有带动两个所述u型板转动的旋转机构。
优选的,所述旋转机构包括齿轮和齿条,两个所述齿轮均位于对应的u型板的外侧且均与对应的转杆的外侧一端固定套接,所述壳体的内部两侧壁均固定设置有固定板,两个所述固定板的下表面均设置有液压缸,两个所述齿条均固定设置于对应的所述液压缸的活塞杆末端,两个所述齿条均与对应的齿轮相匹配。
优选的,所述壳体的两端均固定设置有限位板,两个所述限位板的内侧均开设有滑槽,两个所述滑块的外侧一端均延伸至对应的滑槽内部。
优选的,两个所述压板均采用橡胶材质制成。
优选的,两个所述螺纹杆的上端均固定设置有转轮。
优选的,所述底板的下端两侧均设置有支撑脚。
与现有技术相比,本实用新型提供了一种高精度大口径平面离子束抛光机,具备以下有益效果:
1、该高精度大
声明:
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我是此专利(论文)的发明人(作者)