工作原理:
基于质谱分析与氦气示踪技术:设备通过真空泵组将待测腔体抽至高真空(≤1×10⁻³Pa),随后向腔体或疑似泄漏区域喷洒氦气(分子量4),泄漏的氦气经质谱室离子源电离为He⁺,在磁场作用下按质荷比分离并由电子倍增器检测,通过离子流强度与校准曲线换算得到泄漏率,最小可检泄漏率达5×10⁻¹² Pa·m³/s(氦气),相当于1μm孔径的微漏。
应用范围:
适用于各类真空系统及密封组件的泄漏检测,包括航天器推进舱焊缝气密性验证、半导体晶圆加工设备真空腔体检测、汽车空调压缩机阀体微漏筛查、锂电池电芯封装密封性复检,以及核电阀门密封面泄漏定位。
产品技术参数:
检测灵敏度:5×10⁻¹² Pa·m³/s(氦气),响应时间≤1秒
极限真空度:≤5×10⁻⁶ Pa(分子泵启动后)
抽速性能:前级泵抽速8m³/h,分子泵抽速150L/s
检测范围:5×10⁻¹² - 5×10⁻³ Pa·m³/s(氦气),支持泄漏率单位切换
显示与控制:7英寸触摸屏(分辨率800×480),中英文菜单,支持USB/RS232数据导出
电源与环境:AC 220V±10%,50Hz,功耗≤800W,工作温度5℃-40℃
设备尺寸:主机500mm×400mm×900mm,重量≤45kg
接口配置:标准KF25真空接口,可选配VCR/CF法兰适配器
产品特点:
高灵敏度与快速响应:采用四级质谱分析与数字锁相放大技术,抗干扰能力提升50%,误报率≤0.1%。
双模式检测:支持吸枪模式(局部喷氦)与真空模式(腔体抽真空),适配不同检测场景。
智能化操作:内置泄漏率数据库与自动校准功能,一键生成检测报告并标注泄漏位置。
便携耐用设计:一体化机箱与防震支架,适应车间振动环境,支持12小时连续运行。
低维护成本:分子泵寿命≥20000小时,免维护离子源设计,耗材更换周期延长至5000小时。