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氦质谱检漏仪

氦质谱检漏仪

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规格/型号:ZXL-840
品牌:迪泰
应用领域:分析检测
产地:安徽 - 合肥
厂家/供应商:合肥迪泰真空技术有限公司
咨询电话::138 5605 6508(请说明信息源自“中冶有色网”)
更新时间:2025-06-15
级别:待认证

氦质谱检漏仪说明介绍

迪泰


工作原理:

基于质谱分析与氦气示踪技术:设备通过真空泵组将待测腔体抽至高真空(≤1×10⁻³Pa),随后向腔体或疑似泄漏区域喷洒氦气(分子量4),泄漏的氦气经质谱室离子源电离为He⁺,在磁场作用下按质荷比分离并由电子倍增器检测,通过离子流强度与校准曲线换算得到泄漏率,最小可检泄漏率达5×10⁻¹² Pa·m³/s(氦气),相当于1μm孔径的微漏。


应用范围:

适用于各类真空系统及密封组件的泄漏检测,包括航天器推进舱焊缝气密性验证、半导体晶圆加工设备真空腔体检测、汽车空调压缩机阀体微漏筛查、电池电芯封装密封性复检,以及核电阀门密封面泄漏定位。


产品技术参数:

检测灵敏度:5×10⁻¹² Pa·m³/s(氦气),响应时间≤1秒

极限真空度:≤5×10⁻⁶ Pa(分子泵启动后)

抽速性能:前级泵抽速8m³/h,分子泵抽速150L/s

检测范围:5×10⁻¹² - 5×10⁻³ Pa·m³/s(氦气),支持泄漏率单位切换

显示与控制:7英寸触摸屏(分辨率800×480),中英文菜单,支持USB/RS232数据导出

电源与环境:AC 220V±10%,50Hz,功耗≤800W,工作温度5℃-40℃

设备尺寸:主机500mm×400mm×900mm,重量≤45kg

接口配置:标准KF25真空接口,可选配VCR/CF法兰适配器


产品特点:

高灵敏度与快速响应:采用四级质谱分析与数字锁相放大技术,抗干扰能力提升50%,误报率≤0.1%。

双模式检测:支持吸枪模式(局部喷氦)与真空模式(腔体抽真空),适配不同检测场景。

智能化操作:内置泄漏率数据库与自动校准功能,一键生成检测报告并标注泄漏位置。

便携耐用设计:一体化机箱与防震支架,适应车间振动环境,支持12小时连续运行。

低维护成本:分子泵寿命≥20000小时,免维护离子源设计,耗材更换周期延长至5000小时。

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