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高温化学气相沉积系统

高温化学气相沉积系统

270
规格/型号:KJ-CVD-1700-60*300-F3
品牌:鸿炉机械
应用领域:材料制备
产地:河南 - 郑州
厂家/供应商:河南鸿炉机械设备有限公司
咨询电话::17737149370(请说明信息源自“中冶有色网”)
更新时间:2025-07-24
级别:待认证

高温化学气相沉积系统说明介绍

高温化学气相沉积系统

设备介绍

该高温化学气相沉积系统的工作温度为300℃至1600℃,配备真空泵,气体混合装置。采用温度控制系统,高温精度,出色的气体流量精度,易于操作,出色的隔热效果和温度均匀性。 主要用于大学,科研机构和生产企业进行气相沉积相关的实验与生产。

产品优势

刚玉材质炉管

炉管采用刚玉材质,工作温度可达1600度,具有高温稳定性和耐腐蚀性,加热均匀性好

PID自动温控

控温系统采用PID方式调节,可以设置30段升降温程序,控温精度可以达到±1℃

良好的气密系统

炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、密封性强,法兰带阀门和相关接口,可抽真空通气氛

技术参数

产品名称 高温化学气相沉积系统

产品型号 KJ-CVD-1700-60*300-F3

加热部分

显示 LED

最高温度 1700℃

工作温度 ≤1600℃

升温速率 建议: 0~10℃/min

加温温区 300mm(其他尺寸可根据客户需求定制)

加热元件 硅钼棒

热电偶 B 型

控温精度 ±1℃

炉管尺寸 60 x 900mm(其他尺寸可根据客户需求定制)

刚玉管

温度控制 PID自动控制

升温速率 30段可编程

最大工作压力 0.02MPa

真空部分

真空泵总成 (旋转叶片泵+扩散泵) 冷态极限真空6.67*10-3Pa。

真空测量 复合真空计。

真空法兰 带阀和针的不锈钢真空法兰

质量流量计(3条气体路线Ar、H2、CH4)

流量范围 (20, 30, 50, 100, 200, 300, 500) SCCM

输入电压信号 0 V ~ +5.00 V

输出电压信号 0 V ~ +5.00 V
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