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带蒸发器定制款CVD系统

带蒸发器定制款CVD系统

292
规格/型号:鸿炉机械
品牌:鸿炉机械
应用领域:材料制备
产地:河南 - 郑州
厂家/供应商:河南鸿炉机械设备有限公司
咨询电话::KJ-T1600-CVD(请说明信息源自“中冶有色网”)
更新时间:2025-07-24
级别:待认证

带蒸发器定制款CVD系统说明介绍

带蒸发器定制款CVD系统

设备介绍

该设备由蒸发器、混合器和反应器组成。采用氧化纤维耐火材料。设备技术成熟、质量可靠,温场均匀,结构合理,30段可编程温控系统,气路选用液晶屏触摸界面,使得操作异常简单、方便设置各项技术参数。该CVD高温炉广泛应用于半导体工业中,包括大范围的绝缘材料,以及大多数金属材料和金属合金材料等的镀膜,该CVD镀膜设备可在目标材料表面形成密集的HfCl4涂层.适用于各大高校材料实验室、科研院所、环保科学等领域。
产品优势

PID控温系统

控温系统采用PID方式调节,可以设置30段升降温程序,控温精度可以达到±1℃

触屏操作方式

气路选用液晶屏触摸界面,使得操作异常简单、方便设置各项技术参数

专利技术法兰

专利技术快接法兰,带阀门和相关接口,拆装方便,可抽真空充保护气体至微正压

技术参数

产品名称 CVD系统

产品型号 KJ-T1600-CVD

第一部分: 定制坩埚炉(蒸发系统)

使用温度 超过500℃

工作区尺寸 Φ150 x H320mm(不锈钢内胆的有效尺寸)

(其他尺寸可根据客户需求定制)

坩埚 不锈钢材质,形式及具体要求可定制

加热元件 电阻丝

升温速率 0-10°C/min

漏率 20Pa/min

第二部分:定制小管式炉(混气系统)

使用温度 超过500℃

工作区尺寸 Φ150 x H200mm(不锈钢内胆尺寸)

(其他尺寸可根据客户需求定制)

混气罐 不锈钢

加热元件 电阻丝

漏率 20Pa/min

第三部分 1600度管式炉(反应器)

最高温度 1600℃

长期工作温度 1500℃

炉管尺寸 OD100/ID90,加热区300mm

(其他尺寸可根据客户需求定制)

炉管材质 高纯氧化铝管

加热元件 硅钼棒

漏率 20Pa/min

真空度 抽真空度到-7*10-3Pa

压力范围不超过0.02MPa

更多参数可根据需求定制
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河南鸿炉机械设备有限公司
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材料制备
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联系电话:
KJ-T1600-CVD
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