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双炉体CVD设备

双炉体CVD设备

452
规格/型号:KJ-T1200-W2
品牌:鸿炉机械设
应用领域:材料制备
产地:河南 - 郑州
厂家/供应商:河南鸿炉机械设备有限公司
咨询电话::177-3714-9370(请说明信息源自“中冶有色网”)
更新时间:2025-07-29
级别:待认证

双炉体CVD设备说明介绍

双炉体CVD设备

设备介绍

该双炉体CVD系统为定制款,适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。

产品优势

PID温控系统

控制电路选用模糊PID程控技术,该技术控温精度高,热惯性小,温度不过冲,性能可靠,操作简单

专利法兰设计

气路快速连接法兰结构采用本公司独有的知识产权专利设计,提高操作便捷性

智能真空系统

中真空系统具有真空度上下限自动控制功能,高真空系统采用高压强耐冲击分子泵,防止意外漏气造成分子泵损坏

技术参数

产品型号 KJ-T1200-W2

管式炉部分

炉体结构 双层壳体结构,配有冷风系统自动降温炉壳温度

炉膛材质 日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化多晶纤维固化炉膛,材料保温性能好、反射率高、温场均衡

最高温度 1200℃

使用温度 ≤1100℃

升温速度 推荐≤10℃/min

炉管材料 石英管

炉管尺寸 外径:50mm*内径:44mm* 长1400mm

(其他尺寸可根据客户需求定制)

加热区长度 200mm+200mm(双炉体)

(其他尺寸可根据客户需求定制)

法兰 不锈钢密封法兰,拆卸方便,法兰上装有精密针阀

温控系统 温度控制系统采用人工智能调节技术,具有PID调节、自整定功能,并可编制30段升降温程序;

1、采用PID方式调节控温,可设置30段升降温程序

2、控温精度±1ºC

3、具有过温保护、断偶保护

4、仪表具有温度自整定的功能

加热元件 合金电阻丝

测温元件 2支N型热电偶分别独立控温

进出气口 法兰上含有进出气口和精密针阀

气路系统部分

质量流量计

二路精密质量流量计:数字显示、气体流量自动控制。

MFC1 N2 范围: 0-1000 sccm

MFC2 CO2范围: 0-1000 sccm

气路:2路
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