江苏苏青水处理工程集团有限公司
宣传

位置:中冶有色 > 有色产品 >

> 加工设备

> 3通道CVD设备

3通道CVD设备

3通道CVD设备

625
规格/型号:KJ-T1600 -3M
品牌:鸿炉机械
应用领域:材料制备
产地:河南 - 郑州
厂家/供应商:河南鸿炉机械设备有限公司
咨询电话::177-3714-9370(请说明信息源自“中冶有色网”)
更新时间:2025-07-29
级别:待认证

3通道CVD设备说明介绍

3通道CVD设备

设备介绍

KJ-T1600 CVD 是一种管式炉,具有 80mm 直径的氧化管和三通道质量流量计气体流动系统。 它可以混合1-3种气体用于CVD或扩散。此款CVD生长系统适用于CVD工艺,如碳化硅镀膜、陶瓷基片导电率测试、ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容(MLCC)气氛烧结等实验。

产品优势

刚玉材质炉管

炉管采用刚玉材质,工作温度可达1500度,具有高温稳定性和耐腐蚀性,加热均匀性好

控温精度可达±1℃

控温系统采用PID方式调节,可以设置30段升降温程序,控温精度可以达到±1℃

触屏操作简单快捷

采用触屏操作系统,数据可存储可通过EXCEL输出

技术参数

产品名称 3通道CVD设备

型号 KJ-T1600 -3M

管式炉部分

显示 液晶触摸屏

最高温度 1600℃

工作温度 ≤1500℃

升温速率 建议0~10℃/min

温区 300mm(其他尺寸可根据客户需求定制)

加热元件 硅钼棒

热电偶 B型

温度控制精度 ±1℃

炉管尺寸 外径80mm*长度1000mm(其他尺寸可根据客户需求定制)

材质:刚玉

塞砖 包括两个纤维陶瓷块,用于阻挡来自管内的热辐射(陶瓷块必须在加热前完全插入炉腔)

温度控制 PID自动控制

真空法兰 带阀门的不锈钢真空法兰

质量流量计(液晶触摸屏)

三台精密质量流量计: MFC 1:气体流量范围0~100 sccm MFC 2:气体流量范围0~200 sccm MFC 3:气体流量范围0~200 sccm (气体流量范围可根据您的要求) 底壳安装1个气体混合罐,底壳左侧安装3个不锈钢针阀,手动控制3种气体混合。
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
上一个: 1200℃PECVD系统 下一个: 新能源薄膜分切机

全国热门有色金属设备推荐

河南鸿炉机械设备有限公司
企业认证:
  
所属领域:
材料制备
企业性质:
-
经营范围:
-
联系电话:
177-3714-9370
详细地址:
-

报名参会

云南 - 昆明
2025年09月25日 ~ 27日
湖南 - 长沙
2025年09月25日 ~ 27日
湖南 - 长沙
2025年09月26日 ~ 28日
河南 - 洛阳
2025年10月15日 ~ 17日
山东 - 烟台
2025年10月24日 ~ 26日
碲产业报告2025
推广

推荐产品
更多+

厂家:山东威力重工机床有限公司
标签:
不锈钢 液压机
厂家:山东威力重工机床有限公司
标签:
厂家:广东度班科技有限公司
标签:
厂家:广东度班科技有限公司
标签:
厂家:广东度班科技有限公司
山东省章丘鼓风机股份有限公司
宣传

推荐企业
更多+

安徽霍桐仪器有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
店铺认领信息登记