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基于MEMS的电化学地震检波器电极敏感核心及其制造方法

907   编辑：管理员   来源：中冶有色网  
2023-03-19 06:46:29
本发明公开了一种基于MEMS技术的电化学地震检波器电极敏感核心及其制造方法。所述电极敏感核心由多层电极层和绝缘层交替堆叠构成，电极层和绝缘层分别是布满方形通孔或圆形通孔的矩形薄片，其均采用MEMS加工技术制造，可方便地改变电极层和绝缘层通孔的数量和大小以便改变流阻进而调整电化学地震检波器的灵敏度及噪声等特性，适应不同应用需求；基于本发明提出的制造方法能有效降低工艺难度，有利于实现电极敏感核心的批量化制造，制造的电极敏感核心具有良好的一致性。
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“基于MEMS的电化学地震检波器电极敏感核心及其制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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