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具有抽真空去除管路残余气体功能的化学吸附仪

617   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:59:01
一种具有抽真空去除管路残余气体功能的化学吸附仪，第一气源通过管路与第一截止阀的入口连接，第二气源通过管路与第二截止阀的入口连接，第一截止阀和第二截止阀的出口通过管路与流量控制器的入口连接，所述流量控制器出口通过管路与U形样品管入口连接，U形样品管的出口通过管路与检测器的入口连接，所述检测器的入口通过管路与所述两位三通阀的入口连接，所述两位三通阀的两个出口分别连接真空泵和排气管。通过所述真空泵给整个气路系统抽真空可以消除管路死体积中残余气体对测试的影响；同时，通过加热抽真空的方式对样品进行活化预处理，可提升活化效率，使样品表面洁净程度更高。
声明：
“具有抽真空去除管路残余气体功能的化学吸附仪” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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