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基于纳米刻蚀的日盲紫外增透膜

895   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:11:49
本发明公开了一种基于纳米刻蚀的日盲紫外增透膜,属于薄膜技术领域,包括以下步骤:(1)选取紫外级熔石英(JGS1)作为基底;(2)基底清洗;(3)真空蒸发镀膜法镀第一层膜;(4)纳米刻蚀法优化第一层膜;(5)真空蒸发镀膜法镀第二层膜;(6)纳米刻蚀法优化第二层膜;(7)真空蒸发镀膜法镀第三层膜;(8)纳米刻蚀法优化第三层膜;(9)冷却后检验包装。本发明的日盲紫外增透膜选取适合紫外波段的氟化物,在真空蒸发镀膜法的基础上结合纳米刻蚀法,减小膜面缺陷密度,适合依赖整个紫外波段的探测器,具有优良的化学稳定性。
声明:
“基于纳米刻蚀的日盲紫外增透膜” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
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