合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 可避免反应液污染晶圆的方法

可避免反应液污染晶圆的方法

1214   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:14:38
本发明提供了一种可避免反应液污染晶圆的方法,反应液通过供液管道供应至化学气相沉积设备的反应腔,该供液管道上依次设置有供液气动调节阀和用于雾化反应液的雾化装置,该雾化装置通过与其相连的供气管道供应的清洗气体清洗,该供气管道上具有用于控制清洗气体进入雾化装置的清洗气动调节阀,当正常清洗该雾化装置时,该反应腔处于正常清洗压力范围内。现有技术在清洗雾化装置时没侦测反应腔压力,易在清洗异常时出现反应液在雾化装置中冷凝且滞留时间过久而产生污染晶圆的杂质的现象。本发明在开启清洗气动调节阀清洗雾化装置时,侦测该反应腔内压力是否在正常清洗压力范围内且在否时发出报警。本发明可避免反应液在雾化装置中产生污染晶圆的杂质。
声明:
“可避免反应液污染晶圆的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
化学分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
小知识 | 什么是水电铝,水电铝的优势有哪些? 中国电建以61亿元成功竞得云浮超大砂石矿权 西工大王锦程团队:难熔高熵合金激光增材制造取得新突破! 铜业百科 | 辨别纯铜的方法有哪些 锂离子电池小百科 | 电池标识及电池性能与测试 恩捷股份硫化锂量产获突破 加速固态电池材料国产化进程 储能电池出口迎来爆发式增长,锂电企业纷纷拓展海外市场 小知识 | 钛合金是如何制造锻压的?它可以运用到哪些领域? 六大选矿工艺,搞定锂辉石选矿 展商推荐 | 威格科技(苏州)股份有限公司邀您出席第三届全国钒钛资源与储能科技大会 被关停!紫金矿业刚果(金)铜钴矿部分产品辐射含量超标 冶金百科 | 有色冶金固体废物排放情况 冶金百科 | 金银冶金 - 金的物理和化学性质是什么? 金的主要化合物有哪些? 2.06亿元“抢滩”固态电池:华域汽车收购上汽清陶49%股权背后的三重逻辑 600万吨氧化铝、240万吨电解铝!东方希望大手笔布局拉开帷幕 普鲁士蓝的有趣特性:不只是颜料,还可以用来回收金属,做电池及杀死肿瘤细胞? 金属材料在芯片工艺上的作用 亿纬锂能:2023年实现总营收飙升,同比增长34.38% 推动节能降碳!陕西省有色金属行业碳达峰实施方案发布 日产全固态电池试点生产线预计2025年3月投入运营 铜业百科 | 铜合金的分类及合金元素的作用 方圆公司赴台技术服务团队凯旋 欣旺达在固态电池领域取得突破性进展,预计2025年完成产品开发 历史性时刻!中国新能源汽车的渗透率首次突破50% 金属百科 | 锑的历史与发展 市场竞争加剧,锂电企业纷纷拿出“杀手锏” 中科固能:总投资60亿,预计2030年之前建成全固态电池产业园 恒邦股份荣登2021年《财富》中国500强排行榜294位 《钴产业发展报告(2025)》重磅发布--助你穿透行业迷雾,把握战略机遇 军工材料中应用最广泛的金属结构材料——铝合金
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记