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磷掺杂β-Ga2O3微米线的制备方法

813   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:30:14
本发明公开一种磷掺杂β‑Ga2O3微米线的制备方法，将纯度大于99.9%的氧化镓粉末、碳粉和P2O5粉末按质量比6:9:1~2配比混合制成反应源材料，将反应源材料放入刚玉舟内，再将刚玉舟放入化学气相沉积系统石英管的中心处，衬底位于反应源材料上方1~2cm处；通入氩气，氩气流量控制在300ml/min；当加热温度达到1100℃时通入氧气，氧气流量控制在300ml/min，生长时间为20～40分钟；关闭氧气，保持氩气流量，降温至室温，取出样品。从微米线样品底部剥离出单根的微米线，在其两端滴定银胶电极，即可制备单根磷掺杂β‑Ga2O3微米线紫外探测器，比未掺杂β‑Ga2O3微米线探测器具有更好的紫外探测性能。
声明：
“磷掺杂β-Ga2O3微米线的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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