利用共聚焦激光扫描显微系统对微纳米级介质波导及台阶型结构进行快速无损检测的方法涉及精密加工与测试领域。该方法包括设计了一种共聚焦激光扫描显微系统,在探测器前设置可调针孔光阑;设计了扫描范围可达100微米控制精度可达10纳米的激光扫描器和物距与倾角都可调的载物台,选定405纳米波长激光器;将被测基片放置在载物台上,设定光阑针孔为
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“利用共聚焦激光扫描显微系统对微纳米级介质波导或台阶型结构侧壁角的无损测量方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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