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机台插槽的异常侦测方法、修复方法和异常侦测系统

917   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:10
本发明实施例提供一种机台插槽的异常侦测方法、修复方法和异常侦测系统。机台包括多个插槽，插槽用于检测芯片，异常侦测方法包括：获取第一失效率，第一失效率为过去的第一时间段内每一插槽检测的芯片的失效率；根据所有第一失效率，计算异常值；获取第二失效率，第二失效率为过去的第二时间段内的每一插槽检测的芯片的失效率；第二时间段小于第一时间段，且第二时间段在第一时间段内；将第二失效率大于或等于异常值的插槽标记为目标插槽，将第二失效率小于异常值的插槽标记为对照插槽；检验第二时间段内每一天的目标插槽与对照插槽的失效率的差异的显著性程度。本发明实施例能够减小在侦测异常插槽时出现的误差。
声明：
“机台插槽的异常侦测方法、修复方法和异常侦测系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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