坩埚破碎机的制作方法

1.本实用新型涉及单晶炉设备技术领域，尤其涉及一种坩埚破碎机。

背景技术：

2.目前，在单晶硅棒的生产中，常采用石英坩埚盛装硅溶液，而石英坩埚的外周则套设有碳碳埚邦，石英坩埚的底部由碳碳埚邦露出，碳碳埚邦用于承托石英坩埚。在一轮单晶硅拉制结束后，需要将粘附于石英坩埚内的底料及软化变形的石英坩埚从碳碳埚邦中取出。

3.现有技术中一般仅通过人工敲击的方式将粘附于坩埚内的底料从坩埚内取出及将软化变形的坩埚从埚邦中取出，具体地，在一轮单晶硅拉制结束后，工作人员直接敲击坩埚的底部，以使粘附于坩埚内的底料与坩埚分离，工作人员然后将底料由坩埚内取出，待底料由坩埚内取出后，工作人员继续敲击坩埚的底部，直至将坩埚敲碎，从而完成坩埚与埚邦的分离。但仅通过人工敲击的方式将粘附于坩埚内的底料从坩埚内取出及将软化变形的坩埚从埚邦中取出所耗费时间久，导致单晶硅棒的生产效率较低，而且工作人员的劳动强度高。

4.因此，上述问题亟待解决。

技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种坩埚破碎机，以解决仅通过人工敲击的方式将粘附于坩埚内的底料从坩埚内取出及将软化变形的坩埚从埚邦中取出所耗费时间久，导致单晶硅棒的生产效率较低，而且工作人员的劳动强度高的问题。

6.为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

7.一种坩埚破碎机，用于分离粘附于坩埚内的底料与所述坩埚，并用于分离所述坩埚与埚邦，所述坩埚的底部露出于所述埚邦，所述坩埚破碎机包括：

8.座体，能够承载所述坩埚，所述座体上安装有滑轨，沿所述滑轨的延伸方向设置有第一破碎位置和第二破碎位置；

9.升降装置，设置于所述第二破碎位置处，并包括第一夹持件和第一驱动件，所述第一夹持件能够夹持或释放所述埚邦，所述第一驱动件能够驱动所述第一夹持件沿竖直方向升降；

10.翻转装置，滑动连接于所述滑轨，并包括第二夹持件，所述第二夹持件能够夹持所述埚邦，并能够绕水平轴线转动，以具有使所述坩埚的底部朝上的第一工作位置，当所述翻转装置由所述第二破碎位置向所述第一破碎位置滑动时，所述第二夹持件处于所述第一工作位置；及

11.底料破碎装置，设置于所述第一破碎位置，并包括破碎锤和第二驱动件，所述第二驱动件能够驱动所述破碎锤沿竖直方向升降，当所述翻转装置位于所述第一破碎位置时，所述坩埚的底部位于所述破碎锤的正下方，所述破碎锤能够敲击所述坩埚的底部，以将所

述底料与所述坩埚分离，并能够使所述坩埚产生裂缝。

12.作为优选，所述第二夹持件还具有使所述坩埚的底部与水平面垂直的第二工作位置，当所述翻转装置由所述第一破碎位置滑动至所述第二破碎位置时，所述第二夹持件能够由所述第一工作位置转动至所述第二工作位置。

13.作为优选，所述第一夹持件包括第三驱动件和多个爪部，多个所述爪部沿圆周方向均匀排列，所述第三驱动件被配置为使多个所述爪部收拢或张开。

14.作为优选，所述第二夹持件包括两个夹持部，两个所述夹持部相对设置，并均能够绕水平轴线转动。

15.作为优选，所述夹持部为气动夹爪或电动夹爪。

16.作为优选，所述翻转装置还包括安装杆，所述夹持部转动连接于所述安装杆，所述安装杆滑动连接于所述滑轨。

17.作为优选，所述第一破碎位置和所述第二破碎位置处均放置有收集盆。

18.作为优选，所述座体上设置有第一通孔和第二通孔，所述第一通孔和所述第二通孔分别位于所述第一破碎位置和所述第二破碎位置，两个所述收集盆中的一个位于所述第一通孔的下方，两个所述收集盆中的另一个位于所述第二通孔的下方。

19.作为优选，所述坩埚破碎机还包括第一位置检测件和第二位置检测件，所述第一位置检测件和所述第二位置检测件分别设置于所述第一破碎位置和所述第二破碎位置。

20.作为优选，所述第二驱动件为液压缸。

21.本实用新型的有益效果：本实用新型中，底料破碎装置能够先于工作人员敲击坩埚，从而先将坩埚内的底料取出，因此，在本实用新型中，无需由工作人员敲击坩埚以将粘附于坩埚内的底料从坩埚内取出，工作人员只需在底料从坩埚内取出后将坩埚敲碎即可，同时，底料破碎装置还能够使坩埚产生裂缝，因此，工作人员在敲击坩埚时只需对准坩埚上的裂缝便能够较轻松地将坩埚敲碎，以将坩埚从埚邦中取出，相较于现有技术，本实用新型中取出底料和坩埚所耗费的时间较短，从而能够提高单晶硅棒的生产效率，而且本实用新型还能够极大地降低工作人员的劳动强度。

附图说明

22.图1是本实用新型实施例中的坩埚破碎机的结构示意图一；

23.图2是本实用新型实施例中的坩埚破碎机的结构示意图二。

24.图中：

25.110、坩埚；120、埚邦；

26.210、座体；211、滑轨；212、第一通孔；213、第二通孔；220、升降装置；221、第一夹持件；2211、第三驱动件；2212、爪部；222、第一驱动件；230、翻转装置；231、第二夹持件；2311、夹持部；232、安装杆；233、转轴；240、底料破碎装置；241、破碎锤；242、第二驱动件；250、收集盆。

具体实施方式

27.下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说

明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。

28.在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

29.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

30.在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

31.请参阅图1和图2，本实施例提供一种坩埚破碎机，该坩埚破碎机用于分离粘附于坩埚110内的底料与坩埚110，并用于分离坩埚110与埚邦120，坩埚110的底部露出于埚邦120，该坩埚破碎机包括座体210、升降装置220及翻转装置230，座体210能够承载坩埚110，座体210上安装有滑轨211，沿滑轨211的延伸方向设置有第一破碎位置和第二破碎位置，升降装置220设置于第二破碎位置处，并包括第一夹持件221和第一驱动件222，第一夹持件221能够夹持或释放埚邦120，第一驱动件222能够驱动第一夹持件221沿竖直方向升降，翻转装置230滑动连接于滑轨211，并包括第二夹持件231，第二夹持件231能够夹持埚邦120，并能够绕水平轴线转动，以具有使坩埚110的底部朝上的第一工作位置。

32.在一轮单晶硅拉制结束后，坩埚110及埚邦120被放置于座体210上，且位于第二破碎位置，第一夹持件221夹持埚邦120，第一驱动件222驱动第一夹持件221沿竖直方向上升，以使坩埚110与座体210之间的间距适于坩埚110和埚邦120绕水平轴线转动，在第一夹持件221沿竖直方向上升一段距离后，第二夹持件231夹持埚邦120，而第一夹持件221则释放埚邦120，第二夹持件231带动坩埚110和埚邦120绕水平轴线转动，当第二夹持件231转动至第一工作位置后，坩埚110的底部朝上。

33.除座体210、升降装置220及翻转装置230外，本实施例中的坩埚破碎机还包括底料破碎装置240，底料破碎装置240设置于第一破碎位置，基于前文述及的内容，翻转装置230滑动连接于滑轨211，即翻转装置230能够在第二破碎位置和第一破碎位置之间滑动，当翻转装置230由第二破碎位置向第一破碎位置滑动时，第二夹持件231处于第一工作位置，即在第二夹持件231转动至第一工作位置并使坩埚110的底部朝上后，翻转装置230由第二破碎位置向第一破碎位置滑动，本实施例中的底料破碎装置240包括破碎锤241和第二驱动件242，当翻转装置230位于第一破碎位置时，坩埚110的底部位于破碎锤241的正下方，而第二驱动件242能够驱动破碎锤241沿竖直方向升降，从而使破碎锤241能够敲击坩埚110的底部，以将底料与坩埚110分离，并能够使坩埚110产生裂缝，与坩埚110分离的底料能够由坩

埚110的开口处掉出，之后，翻转装置230由第一破碎位置返回至第二破碎位置，当翻转装置230位于第二破碎位置后，工作人员能够手持钨锤敲击坩埚110的底部，从而使坩埚110破碎，产生的碎片掉落，以完成坩埚110与埚邦120的分离。

34.基于上述，底料破碎装置240能够先于工作人员敲击坩埚110，从而先将坩埚110内的底料取出，因此，在本实施例中，无需由工作人员敲击坩埚110以将粘附于坩埚110内的底料从坩埚110内取出，工作人员只需在底料从坩埚110内取出后将坩埚110敲碎即可，同时，底料破碎装置240还能够使坩埚110产生裂缝，因此，工作人员在敲击坩埚110时只需对准坩埚110上的裂缝便能够较轻松地将坩埚110敲碎，以将坩埚110从埚邦120中取出，相较于现有技术，本实施例中取出底料和坩埚110所耗费的时间较短，从而能够提高单晶硅棒的生产效率，而且本实施例还能够极大地降低工作人员的劳动强度。

35.当工作人员手持钨锤将坩埚110敲碎后，第一夹持件221夹持埚邦120，第一驱动件222驱动第一夹持件221沿竖直方向下降，从而将埚邦120重新放置在座体210上。

36.可以理解的是，在本实施例中，底料和坩埚110分别于第一破碎位置和第二破碎位置分离，从而能够避免掉落的底料和掉落的坩埚110碎渣混合，进而便于对分离得到的底料进行回收利用。

37.在本实施例中，第一驱动件222可选为气缸或电缸等直线驱动结构，本实施例中对此不作具体限制。

38.优选地，第二驱动件242为液压缸，从而保证破碎锤241敲击坩埚110的底部的力度满足要求。

39.除第一工作位置外，第二夹持件231还具有使坩埚110的底部与水平面垂直的第二工作位置，当翻转装置230由第一破碎位置滑动至第二破碎位置时，第二夹持件231能够由第一工作位置转动至第二工作位置，相较于工作人员手持钨锤敲击朝上的底部，本实施例中使坩埚110的底部呈竖直状态能够更便于工作人员敲击，从而进一步降低工作人员的劳动强度。

40.为了便于收集由坩埚110内掉落的底料及坩埚110的碎渣，本实施例中的第一破碎位置和第二破碎位置处均放置有收集盆250，掉落的底料能够落入位于第一破碎位置的收集盆250内，从而进一步便于对分离得到的底料进行回收利用，而掉落的坩埚110的碎渣则能够落入位于第二破碎位置的收集盆250内。

41.基于前文述及的内容，在一轮单晶硅拉制结束后，坩埚110及埚邦120被放置于座体210上，而且，当工作人员手持钨锤将坩埚110敲碎后，埚邦120能够被重新放置在座体210上，若收集盆250直接放置在座体210上，一方面，第一驱动件222需要驱动第一夹持件221沿竖直方向上升的距离较大，以避免收集盆250影响坩埚110和埚邦120绕水平轴线转动，另一方面，工作人员需要反复取放收集盆250，以避免收集盆250影响将坩埚110和埚邦120放置在座体210上，即收集盆250直接放置在座体210上会为分离工作带来不便，为此，本实施例中的座体210上设置有第一通孔212和第二通孔213，第一通孔212和第二通孔213分别位于第一破碎位置和第二破碎位置，两个收集盆250中的一个位于第一通孔212的下方，掉落的底料能够通过第一通孔212落入位于第一破碎位置的收集盆250内，两个收集盆250中的另一个位于第二通孔213的下方，掉落的坩埚110的碎渣则能够通过第二通孔213落入位于第二破碎位置的收集盆250内，从而避免影响分离工作。

42.在本实施例中，第一夹持件221优选为包括第三驱动件2211和多个爪部2212，多个爪部2212沿圆周方向均匀排列，第三驱动件2211被配置为使多个爪部2212收拢或张开，当多个爪部2212收拢时，第一夹持件221能够夹持埚邦120，当多个爪部2212张开时，第一夹持件221释放埚邦120，本实施例中通过设置多个沿圆周方向均匀排列的爪部2212能够保证埚邦120被稳定地夹持。

43.可以理解的是，本实施例中的第三驱动件2211可选为气缸或电机等驱动结构，本实施例中对此不作具体限制。

44.进一步地，第二夹持件231包括两个夹持部2311，两个夹持部2311相对设置，并均能够绕水平轴线转动，埚邦120能够被夹持于两个夹持部2311之间，从而保证第二夹持件231能够稳定地夹持埚邦120。

45.优选地，本实施例中的夹持部2311为气动夹爪或电动夹爪，从而降低坩埚破碎机的制造成本。

46.进一步地，翻转装置230还包括安装杆232，夹持部2311转动连接于安装杆232，安装杆232滑动连接于滑轨211，具体地，安装杆232及导轨均设置有两个，两个安装杆232一一对应地滑动连接于两个导轨，夹持部2311通过转轴233转动连接于安装杆232，翻转装置230还包括第四驱动件(图中未示出)，第四驱动件用于驱动转轴233绕其轴线转动，从而带动夹持部2311转动。

47.为保证翻转装置230能够准确地滑动并保持于第一破碎位置或第二破碎位置，本实施例中的坩埚破碎机还包括第一位置检测件(图中未示出)和第二位置检测件(图中未示出)，第一位置检测件和第二位置检测件分别设置于第一破碎位置和第二破碎位置，当翻转装置230滑动至第一破碎位置时，第一位置检测件能够被触发，并向用于驱动翻转装置230滑动的第五驱动件(图中未示出)发出控制信号，第五驱动件停止工作，以使翻转装置230能够准确地滑动并保持于第一破碎位置，当翻转装置230滑动至第二破碎位置时，第二位置检测件能够被触发，并向用于驱动翻转装置230滑动的第五驱动件(图中未示出)发出控制信号，第五驱动件停止工作，以使翻转装置230能够准确地滑动并保持于第二破碎位置。

48.可以理解的是，第一位置检测件和第二位置检测件均为光电开关，由于第一位置检测件和第二位置检测件的具体结构均为现有技术，因此本实施例中对此便不作赘述。

49.显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。技术特征：

1.一种坩埚破碎机，用于分离粘附于坩埚(110)内的底料与所述坩埚(110)，并用于分离所述坩埚(110)与埚邦(120)，所述坩埚(110)的底部露出于所述埚邦(120)，其特征在于，所述坩埚破碎机包括：座体(210)，能够承载所述坩埚(110)，所述座体(210)上安装有滑轨(211)，沿所述滑轨(211)的延伸方向设置有第一破碎位置和第二破碎位置；升降装置(220)，设置于所述第二破碎位置处，并包括第一夹持件(221)和第一驱动件(222)，所述第一夹持件(221)能够夹持或释放所述埚邦(120)，所述第一驱动件(222)能够驱动所述第一夹持件(221)沿竖直方向升降；翻转装置(230)，滑动连接于所述滑轨(211)，并包括第二夹持件(231)，所述第二夹持件(231)能够夹持所述埚邦(120)，并能够绕水平轴线转动，以具有使所述坩埚(110)的底部朝上的第一工作位置，当所述翻转装置(230)由所述第二破碎位置向所述第一破碎位置滑动时，所述第二夹持件(231)处于所述第一工作位置；及底料破碎装置(240)，设置于所述第一破碎位置，并包括破碎锤(241)和第二驱动件(242)，所述第二驱动件(242)能够驱动所述破碎锤(241)沿竖直方向升降，当所述翻转装置(230)位于所述第一破碎位置时，所述坩埚(110)的底部位于所述破碎锤(241)的正下方，所述破碎锤(241)能够敲击所述坩埚(110)的底部，以将所述底料与所述坩埚(110)分离，并能够使所述坩埚(110)产生裂缝。2.根据权利要求1所述的坩埚破碎机，其特征在于，所述第二夹持件(231)还具有使所述坩埚(110)的底部与水平面垂直的第二工作位置，当所述翻转装置(230)由所述第一破碎位置滑动至所述第二破碎位置时，所述第二夹持件(231)能够由所述第一工作位置转动至所述第二工作位置。3.根据权利要求1所述的坩埚破碎机，其特征在于，所述第一夹持件(221)包括第三驱动件(2211)和多个爪部(2212)，多个所述爪部(2212)沿圆周方向均匀排列，所述第三驱动件(2211)被配置为使多个所述爪部(2212)收拢或张开。4.根据权利要求1所述的坩埚破碎机，其特征在于，所述第二夹持件(231)包括两个夹持部(2311)，两个所述夹持部(2311)相对设置，并均能够绕水平轴线转动。5.根据权利要求4所述的坩埚破碎机，其特征在于，所述夹持部(2311)为气动夹爪或电动夹爪。6.根据权利要求4所述的坩埚破碎机，其特征在于，所述翻转装置(230)还包括安装杆(232)，所述夹持部(2311)转动连接于所述安装杆(232)，所述安装杆(232)滑动连接于所述滑轨(211)。7.根据权利要求1所述的坩埚破碎机，其特征在于，所述第一破碎位置和所述第二破碎位置处均放置有收集盆(250)。8.根据权利要求7所述的坩埚破碎机，其特征在于，所述座体(210)上设置有第一通孔(212)和第二通孔(213)，所述第一通孔(212)和所述第二通孔(213)分别位于所述第一破碎位置和所述第二破碎位置，两个所述收集盆(250)中的一个位于所述第一通孔(212)的下方，两个所述收集盆(250)中的另一个位于所述第二通孔(213)的下方。9.根据权利要求1所述的坩埚破碎机，其特征在于，所述坩埚破碎机还包括第一位置检测件和第二位置检测件，所述第一位置检测件和所述第二位置检测件分别设置于所述第一

破碎位置和所述第二破碎位置。10.根据权利要求1所述的坩埚破碎机，其特征在于，所述第二驱动件(242)为液压缸。

技术总结

本实用新型属于单晶炉设备技术领域，公开了一种坩埚破碎机，该坩埚破碎机包括座体、升降装置、翻转装置及底料破碎装置，底料破碎装置能够先于工作人员敲击坩埚，从而先将坩埚内的底料取出，因此，在本实用新型中，无需由工作人员敲击坩埚以将粘附于坩埚内的底料从坩埚内取出，工作人员只需在底料从坩埚内取出后将坩埚敲碎即可，同时，底料破碎装置还能够使坩埚产生裂缝，因此，工作人员在敲击坩埚时只需对准坩埚上的裂缝便能够较轻松地将坩埚敲碎，以将坩埚从埚邦中取出，相较于现有技术，本实用新型中取出底料和坩埚所耗费的时间较短，从而能够提高单晶硅棒的生产效率，而且本实用新型还能够极大地降低工作人员的劳动强度。型还能够极大地降低工作人员的劳动强度。型还能够极大地降低工作人员的劳动强度。

技术研发人员：李小红 蔡旭 李晶 刘文涛 李道平 秦乐

受保护的技术使用者：西宁阿特斯光伏科技有限公司

技术研发日：2022.11.25

技术公布日：2023/6/9