本发明公开了一种半导体
芯片废料回收的方法,涉及回收技术领域。本发明提供了一种半导体芯片废料回收的方法,包括以下步骤:(1)将半导体芯片废料预处理,得到半导体芯片废料粉末;(2)将半导体芯片废料粉末和酸混合,得到混合物;将氧化剂滴加到所述混合物中进行反应,过滤得到滤渣和滤液;所述氧化剂的滴加速度为0.5‑1mL/min;(3)将所述滤渣和滤液分别处理,完成半导体芯片废料的回收。本发明提供的一种半导体芯片废料回收的方法,整个工艺考虑到废料中有价金属以及有害元素的分离回收,具有良好的经济效益和环境效益。
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