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相控天线阵列器件

823   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:11:01
本发明提供一种相控天线阵列器件(100)及其制造方法(400)。该器件(100)包括第一介电层(D1)和至少一个嵌入该第一介电层(D1)的裸片(101)。该裸片(101)配置用于输出用以驱动天线元件的相移信号。该器件(100)还包括设置在该第一介电层(D1)上的第二介电层(D2)。此外，互连结构(102)形成在第一金属层(M1)中，该第一金属层(M1)设置在该第一介电层(D1)和该第二介电层(D2)之间。另外，多个第一天线元件(103)形成在设置于该第二介电层(D2)的表面上的该第二金属层(M2)中。这些第一天线元件(103)经由该互连结构(102)与该至少一个裸片(101)连接。
声明：
“相控天线阵列器件” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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