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高阻靶材制造方法

882   编辑：管理员   来源：中冶有色网  
2023-03-18 14:33:05
本发明涉及一种高阻靶材制造方法，属于电子材料与冶金技术领域。用于制备金属膜电阻器所需的靶材。该方法包括原料配比、熔炼、制粉、热压成型和机加工过程。其优点是：所制造的靶材晶粒尺寸细小、大小分布均匀、致密度高、外部无裂纹、内部无孔隙，能够有效提升金属膜电阻器的质量和薄膜沉积速率；本发明方法制造靶材成品率高，易于规模化生产。

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