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微波等离子体辅助的多晶硅提纯方法

937   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:33:27
本发明涉及一种微波等离子体辅助的多晶硅提纯方法，将硅料放置于真空中频感应炉的石墨坩埚后，将炉体抽真空至压力≤1Pa；开启中频电源，以10～100℃/min的速率升温至1500～1650℃，加热直至硅料完全熔化；开启微波源，通入反应气体，进行反应熔炼；熔炼结束后，进行浇铸，得到纯度＞99.999％的高纯多晶硅。本发明结合了真空中频精炼和微波等离子体反应加热进行除杂，反应条件温和，提纯效果明显，降低了能耗，有利于工业化生产。
声明：
“微波等离子体辅助的多晶硅提纯方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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