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多晶硅除磷装置及方法

843   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 14:35:02
本发明一种多晶硅除磷装置及方法,该装置包括真空室,所述真空室内设有石墨坩埚,所述石墨坩埚外设有保温套,所述保温套外周面缠绕有感应线圈,所述石墨坩埚下方设有石墨垫,石墨垫下方设有水冷盘,所述水冷盘连接收料杆,所述石墨坩埚由上至下分为熔融段、蒸发段和凝固段,所述熔融段与蒸发段之间有隔板,所述隔板上有供硅液通过的进料孔,进料孔处安装有可活动的挡板,所述蒸发段内部设有若干水平交错设置的折流板,底部设有出料孔;所述凝固段的内腔为锥形,底部石墨垫密封配合。本发明通过将硅液通过折流板自然下落,在下落过程中,硅液表面积增加,提高了蒸发除杂的效果,而且成本控制较好。
声明:
“多晶硅除磷装置及方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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