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用于硅片制绒前的预处理装置

652   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:52:02
本实用新型涉及一种用于硅片制绒前的预处理装置，其包括化学处理槽和化学品供应罐，所述化学处理槽和所述化学品供应罐通过管道连接，所述化学处理槽包括内槽和外槽，所述化学处理槽底部设置有加热器，所述化学处理槽侧面底部围绕有导管，所述导管与冷却水供应罐连接。通过在常规制绒装置之前增加预处理装置，对于杂质含量高，表面状况复杂的冶金级硅片，获得的绒面效果均匀，清晰。同时，通过在化学处理内槽上连接一外槽，使得化学处理内槽中的腐蚀液溢出到外槽，避免了由此造成的污染，通过循环管路使外槽中的溢出液体回到内槽中，由此提高了腐蚀液的利用率，减小了腐蚀液的浪费。
声明：
“用于硅片制绒前的预处理装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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