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新型石英坩埚的制备方法

731   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 15:02:21
本发明提供一种新型石英坩埚的制备方法,制备毛坯坩埚,所述毛坯坩埚从内到外依次包括透明层和气泡层;在所述透明层远离所述气泡层一侧涂敷一层内涂层;在所述气泡层远离所述透明层一侧涂敷一层外涂层。本发明设计的新型石英坩埚的制备方法,可防止石英坩埚上端开口处的变形,提高石英坩埚的强度,提高石英坩埚的使用寿命;同时利用该石英坩埚拉制出的单晶硅棒的尾部寿命可达到均有所提高,单晶硅棒的成晶率好,且转化效率高,使用于P型和N型单晶硅棒的拉制,适普性高。
声明:
“新型石英坩埚的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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