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膜图案的形成方法、薄膜制造装置、导电膜布线

683   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 15:02:22
一种膜图案的形成方法,将由含有导电性微粒的液体所构成的液滴喷到衬底上的规定膜形成区域中,形成膜图案,其特征在于:具有在喷出液滴之前在衬底上进行表面处理的表面处理工序,通过表面处理工序,设定对衬底上液体的接触角。接触角特别设定为15度以上45度以下。通过该结构,可提供一种在通过喷墨法形成的膜图案中可以抑制断线或短路等缺陷发生的膜图案的形成方法及形成装置和导电膜布线等。
声明：
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