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大口径高真空油扩散泵

592   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 15:02:22
本发明公开了一种扩散泵,特别是涉及一种大口径高真空油扩散泵,它适合应用于真空炉、真空镀膜机。大口径高真空油扩散泵,它包括泵体、设置在泵体内的泵芯组件,其中加热器设置在泵体底部、泵体的排气口内设有挡油装置,泵体采用了凸腔结构,泵芯组件垂直安装在泵体内中心油槽内,泵芯组件结构是由内至外依次设置一级导流管、二级导流管和三级导流管构成整体结构,各级导流管上部均设有伞帽形扩散喷嘴,喷射喷嘴垂直焊接在三级导流管的底部,一级导流管的高度比二级导流管高,二级导流管的高度比三级导流管高。本发明具有大口径、极限真空度高、抽气速率高、返油率低、耗电量低的特点。
声明:
“大口径高真空油扩散泵” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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