合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 物理检测技术

> 一种亚波长光子筛聚焦性能检测方法

一种亚波长光子筛聚焦性能检测方法

966   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 06:23:56
本发明公开了一种亚波长光子筛聚焦性能检测方法。该检测方法采用曝光法和扫描法相结合的混合检测系统,由激光光源、扩束准直系统、亚波长光子筛、已涂有光刻胶的硅片、真空泵、工件台、计算机控制系统组成;其中,工件台由PI公司的二维工件台和压电陶瓷共同组成,二维工件台用于粗调,压电陶瓷用于精调;工件台的运动方向及步进值由计算机控制系统的软件进行设置,其中X方向控制焦距的步进,Y方向控制聚焦光斑的移动。本发明的检测方法的测量精度不受CCD像素间距的影响,无需光学放大环节,不改变光斑在空间的实际能量分布。
声明:
“一种亚波长光子筛聚焦性能检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
物理检测
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
冶金百科 | 有色金属冶金基础知识 冶金百科 | 金银冶金 - 金的物理和化学性质是什么? 金的主要化合物有哪些? 金属百科 | 锑的历史与发展 陕西:推出有色金属行业碳达峰实施方案,推动全产业链节能降碳 铜业百科 | 铜合金的分类及合金元素的作用 芯片巨头美光科技获61亿美元补贴 2025年新疆光伏电价创新低:每度电仅需0.1648元 几秒钟即可充满!韩国研究团队在钠离子电池技术方面取得重大突破 市场竞争加剧,锂电企业纷纷拿出“杀手锏” 坐在铜矿上的国家​:“铜矿之国”赞比亚到底有多“壕”? 冶金百科 | 有色冶金固体废物排放情况 衡水市:独立储能发展布局指导方案印发 为减少进口依赖,欧洲时隔10年重启镁矿开采 小知识 | 钛合金是如何制造锻压的?它可以运用到哪些领域? 中国十大金矿排名!紫金山金铜矿居榜首 班坎金矿凸显潜力,或有望成为几内亚最大金矿 推动节能降碳!陕西省有色金属行业碳达峰实施方案发布 小知识 | 铝矾土和铝矿石、铝土矿的区别 未来科技:太阳能面板与电池搭载无人机,随时随地享受阳光充能! 维里迪斯矿业公司稀土矿项目回收率达到世界最高水平 恩捷股份硫化锂量产获突破 加速固态电池材料国产化进程 有色金属:六种战争金属性能详解 金属材料在芯片工艺上的作用 四川生态修复带来大变化,废弃矿山变绿洲 2024年度邱定蕃有色冶金青年科技奖获奖名单 亿纬锂能:圆柱电池备受偏爱,海外市场“势在必得” 强势上涨!铜价破8万大关,创18年新高 铜业百科 | 辨别纯铜的方法有哪些 衡阳市市委书记秦国文到株冶有色调研 钨矿——工业之基,战争金属之王
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

成磊有色金属专家
成磊

高级工程师/机电公司 技术部 副主任

崔文权有色金属专家
崔文权

化学工程学院院长/教授

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记