合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 物理检测技术

> 一种用于光刻机调焦系统性能评价的装置及方法

一种用于光刻机调焦系统性能评价的装置及方法

1033   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 06:26:12
一种用于光刻机调焦系统性能评价的装置和方法,其特点是:装置的运动系统将粗动系统和精动系统分开设计,在满足水平X向和垂向大行程运动及垂向高精度定位的同时保证了装置拆装灵活性和扩展性,保证控制精度的同时减少控制的复杂程度,实现了垂向大行程高精度的精密运动控制,保证了被评价调焦系统的测量光斑可以在硅片上的任意位置,实现了检测灵活性,对调焦系统性能评价方法和流程简便,可在精动系统一个行程内将调焦的重复性和精度全部验证完毕,节省时间,代码实现简便,同时整套装置亦可用于其他系统垂向性能检测和评价。
声明:
“一种用于光刻机调焦系统性能评价的装置及方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
物理检测
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
西工大王锦程团队:难熔高熵合金激光增材制造取得新突破! 冶金百科 | 铝冶金——拜耳法生产氧化铝 南山铝业第一家海外电解铝项目将落户印尼,规划产能为100万吨 耐普矿机董事长郑昊:选矿设备制造宜向大型化、高端化方向发展 有色金属:六种战争金属性能详解 生态环境部印发《固体废物分类与代码目录》,废旧锂电池正式纳入固废管理 冶金百科 | 稀土冶金 - 稀土元素原子半径及离子半径变化规律是什么,何谓镧系收缩? 小知识 | 什么是钠离子电池?比起锂电池有什么优势? 矿山安全 | 露天矿山开采的五大防护措施 冶金百科 | 铅冶金工艺——火法炼铅(底吹熔炼—鼓风炉还原熔炼—烟化炉烟化法(SKS法)) 中原关键金属实验室主任何季麟:建设国家级关键金属创新高地 2.06亿元“抢滩”固态电池:华域汽车收购上汽清陶49%股权背后的三重逻辑 中国电建以61亿元成功竞得云浮超大砂石矿权 Mysteel统计:2023年全球电解铝企业产量TOP15,中国前7席 金属百科 | 稀贵金属—“铼” 展商推荐 | 威格科技(苏州)股份有限公司邀您出席第三届全国钒钛资源与储能科技大会 铜业百科 | 铜及铜合金热处理概述 恒邦股份荣登2021年《财富》中国500强排行榜294位 冶金百科 | 有色金属冶金基础知识 2025年锂电行业变革:十大关键技术引领行业洗牌 陕西:推出有色金属行业碳达峰实施方案,推动全产业链节能降碳 金属材料在芯片工艺上的作用 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(七 ) 市场竞争加剧,锂电企业纷纷拿出“杀手锏” 电动汽车超充时代到来!宁德时代发布神行PLUS电池 小知识 | 钛合金是如何制造锻压的?它可以运用到哪些领域? 未来科技:太阳能面板与电池搭载无人机,随时随地享受阳光充能! 推动节能降碳!陕西省有色金属行业碳达峰实施方案发布 军工材料中应用最广泛的金属结构材料——铝合金 亿纬锂能:2023年实现总营收飙升,同比增长34.38%
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

胡瑞忠有色金属专家
胡瑞忠

中国科学院院士

杨超有色金属专家
杨超

上海市先进高温材料及其精密成形重点实验室科研秘书/助理教授

鲁后国有色金属专家
鲁后国

副院长 / 正高级工程师

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记