合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 化学分析技术

> 可在线/原位监测的微波等离子体化学气相沉积设备

可在线/原位监测的微波等离子体化学气相沉积设备

977   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:46:27
本发明公开了一种可在线/原位监测的微波等离子体化学气相沉积设备，在进行薄膜材料生长的过程中，采用光谱检测装置对等离子辉光的发射光谱以及薄膜材料的生长温度等信息进行监测和分析，并采用X射线检测技术，对材料生长过程中的表面状态及晶体质量的演变进行实时把控和分析。采用质谱检测技术对气源及腔体生长环境中的气体组分进行分析，动态监测整个生长过程中气源组分及腔体生长环境的变化，结合光谱与X射线的监测结果，能够为掌握整个MPCVD生长过程中薄膜材料生长的演变规律，确定缺陷的产生与生长条件及环境之间的关联性提供决定性的证据，进而能够为薄膜生长质量的控制以及生长环境洁净度的提高提供更为有力的技术支撑。
声明：
“可在线/原位监测的微波等离子体化学气相沉积设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
化学分析
上一个：测定14-3-3蛋白与质膜H+-ATPase蛋白互作的电化学方法
下一个：火电厂锅炉化学清洗监视管检查装置

与 “可在线/原位监测的微波等离子体化学气相沉积设备” 相关技术

▪ 高效率冷却的立式球磨机
▪ 生活垃圾用气流分选机
▪ 高效节能振动筛筛框
▪ 智能凹面振动筛
▪ 吸取机构、芯片移栽装置及分选机
▪ 背负式风机系统
▪ 高效有机废气催化燃烧装置
▪ 维氏硬度计用试样夹具
▪ 遥控式便携X射线机控制装置
▪ 臭氧催化氧化塔式反应装置

相关化学分析设备推荐

满量程张力计 土壤监测仪
在线式防爆型空间粉尘含量检测仪
土壤墒情实时监测系统
proceq Equotip Piccolo 2创新的便携式里氏硬度计
汽油动力土壤采样器
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪高效率冷却的立式球磨机
▪生活垃圾用气流分选机
▪高效节能振动筛筛框
▪智能凹面振动筛
▪吸取机构、芯片移栽装置及分选机
▪背负式风机系统
▪高效有机废气催化燃烧装置
▪维氏硬度计用试样夹具
▪遥控式便携X射线机控制装置
▪臭氧催化氧化塔式反应装置

报名参会
更多+

中国有色金属冶金第八届学术会议
中国有色金属冶金第八届学术会议
2024年06月28日 ~ 30日
2024先进钢铁钒钛产业链融通与绿色低碳发展论坛
2024先进钢铁钒钛产业链融通与绿色低碳发展论坛
2024年07月05日 ~ 07日
2024再生铝产业技术进步与减污降碳创新研讨会
2024再生铝产业技术进步与减污降碳创新研讨会
2024年07月12日 ~ 14日
2024固态电池前沿技术产学研合作发展论坛
2024固态电池前沿技术产学研合作发展论坛
2024年07月26日 ~ 28日
2024高分子材料合成与表征技术研讨会
2024高分子材料合成与表征技术研讨会
2024年08月01日 ~ 03日

报告下载

1 实验室管理与实践
下载:52
2 化学实验室暖通系统设计新趋势
下载:50
3 矿产品样品制备要点与难点分析
下载:44
4 质检部门风险防控管理的探讨 （矿
下载:41
5 ICP-MS/MS测定有色金属中
下载:37
6 电位滴定法在北矿检测实验室的应
下载:33
7 金精矿制样与分析方法的研究
下载:32
8 电位滴定仪在有色金属分析的应用
下载:32
9 全面禁止洋垃圾入境形势下的固废
下载:32
10 粗铜中铂钯分析方法的研究
下载:31
第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
推广

热门技术
更多+

1压力平衡机构
2防爆阀保护膜
3水电站的尾水预埋件
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记