合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 气体组分自动控制的等离子体化学气相沉积设备

气体组分自动控制的等离子体化学气相沉积设备

844   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 06:57:24
本发明公开了一种气体组分自动控制的等离子体化学气相沉积设备,包括真空腔室,所述真空腔室上开设有快接接口,所述快接接口通过取样气路与用于检测真空腔室内气体组分的气相检测系统连接,气相检测系统的输出端与控制及反馈系统连接并将检测结果输出至控制及反馈系统,控制及反馈系统的输出端与质量流量计连接,控制及反馈系统输出控制信号来控制质量流量计给气量的大小。通过在等离子体化学气相沉积设备中添加气相检测系统和控制及反馈系统来实时检测并调控真空腔室内的气体组分,以达到提高成膜质量和提高成膜速率的效果。
声明:
“气体组分自动控制的等离子体化学气相沉积设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
化学分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
铜业百科 | 辨别纯铜的方法有哪些 工信部发布第四批《减免车辆购置税的新能源汽车车型目录》 恩捷股份硫化锂量产获突破 加速固态电池材料国产化进程 四川生态修复带来大变化,废弃矿山变绿洲 冶金百科 | 金银冶金 - 金的物理和化学性质是什么? 金的主要化合物有哪些? 展商推荐 | 威格科技(苏州)股份有限公司邀您出席第三届全国钒钛资源与储能科技大会 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(四) 2024年度邱定蕃有色冶金青年科技奖获奖名单 磷酸铁锂电池组电芯压差变大的原因及解决方法 冶金百科 | 铜冶金-湿法炼铜小知识(一) 强势上涨!铜价破8万大关,创18年新高 南山铝业第一家海外电解铝项目将落户印尼,规划产能为100万吨 方圆公司赴台技术服务团队凯旋 衡阳市市委书记秦国文到株冶有色调研 矿权出让!中国的最大的钒钛磁铁矿铁矿红格南矿区即将出让矿权 小知识 | 铝矾土和铝矿石、铝土矿的区别 欣旺达在固态电池领域取得突破性进展,预计2025年完成产品开发 中原关键金属实验室主任何季麟:建设国家级关键金属创新高地 没资质千万别碰!无证回收废电池违法! 有色金属冶炼行业节能降碳改造升级实施指南 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(七 ) 陕西:推出有色金属行业碳达峰实施方案,推动全产业链节能降碳 钨矿——工业之基,战争金属之王 普鲁士蓝的有趣特性:不只是颜料,还可以用来回收金属,做电池及杀死肿瘤细胞? 冶金百科 | 铜冶金工艺——P-S转炉吹炼 中国电建以61亿元成功竞得云浮超大砂石矿权 天一萃取离心萃取机荣获“创新星级品牌”奖 恒邦股份荣登2021年《财富》中国500强排行榜294位 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(五) 中科固能:总投资60亿,预计2030年之前建成全固态电池产业园
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记