合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 化学机械抛光设备及其防碰撞方法

化学机械抛光设备及其防碰撞方法

908   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 06:57:49
本发明提供一种化学机械抛光设备及其防碰撞方法,化学机械抛光设备包括:工作台、抛光垫、第一研磨装置、第二研磨装置、防碰撞传感器以及运动控制器,第一研磨装置包括第一摆动旋转机构、第一摆臂和第一研磨头,第一摆动旋转机构具有第一摆动电机;第二研磨装置包括第二摆动旋转机构、第二摆臂、第二研磨头,第二摆动旋转机构具有第一摆动电机;防碰撞传感器用于检测第一研磨头与第二研磨头之间的距离;运动控制器与防碰撞传感器通信连接,能够在防碰撞传感器检测到第一研磨头与第二研磨头之间的距离小于等于第一预设值时,控制第一摆动电机和第二摆动电机停止运作。
声明:
“化学机械抛光设备及其防碰撞方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
化学分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
新技术 | 3D打印与传统加工工艺材料、晶格结构的性能差异 锂离子电池小百科 | 电池标识及电池性能与测试 中国十大金矿排名!紫金山金铜矿居榜首 中科固能:总投资60亿,预计2030年之前建成全固态电池产业园 小知识 | 铝矾土和铝矿石、铝土矿的区别 最快2023年上市!超级“核电池”无需充电能正常使用90年之久 矿权出让!中国的最大的钒钛磁铁矿铁矿红格南矿区即将出让矿权 南山铝业第一家海外电解铝项目将落户印尼,规划产能为100万吨 开辟新领域!电池企业纷纷布局低空市场 冶金百科 | 铜冶金-湿法炼铜小知识(一) 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(一) 被关停!紫金矿业刚果(金)铜钴矿部分产品辐射含量超标 欣旺达在固态电池领域取得突破性进展,预计2025年完成产品开发 冶金百科 | 锌冶金 - 湿法炼锌(一) 金属材料在芯片工艺上的作用 未来科技:太阳能面板与电池搭载无人机,随时随地享受阳光充能! 有色金属冶炼行业节能降碳改造升级实施指南 亿纬锂能:2023年实现总营收飙升,同比增长34.38% 历史性时刻!中国新能源汽车的渗透率首次突破50% 小知识 | 什么是钠离子电池?比起锂电池有什么优势? 衡阳市市委书记秦国文到株冶有色调研 市场竞争加剧,锂电企业纷纷拿出“杀手锏” 亿纬锂能:圆柱电池备受偏爱,海外市场“势在必得” 冶金百科 | 金银冶金 - 金的物理和化学性质是什么? 金的主要化合物有哪些? 动力电池向高能量密度迭代,固态电池成“兵家必争之地” 特斯拉交付量远低于市场预期,正丧失中国市场主动权 2025年锂电行业变革:十大关键技术引领行业洗牌 2025年8月中国动力电池行业报告:龙头企业优势明显 矿山安全 | 露天矿山开采的五大防护措施 班坎金矿凸显潜力,或有望成为几内亚最大金矿
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记