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电化学气体传感器及其器件封装方法

918   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 07:03:20
本发明涉及一种电化学气体传感器及其器件封装方法,包括:上盖板、电极板、基板;所述上盖板使用多孔陶瓷材料,待测气体可通过陶瓷微小气孔进入传感器内部;所述电极板背面为三电极共面体系的微间距传感器电极,电极上覆盖有固态电解质层,并密封于基板挖槽内;所述电极板通过粘合剂耦合在所述基板上,并通过金丝绑定与所述基板电气相连。本传感器实现了部件少、体积小、灵敏度高、使用寿命长的封装设计。
声明:
“电化学气体传感器及其器件封装方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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