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p GaNi GaN n BN中子探测器

1114   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 07:24:12
本发明公开一种p?GaN/i?GaN/n?BN中子探测器,该中子探测器由Al2O3衬底层、n?BN层、i?GaN层、p?GaN层组成。其制备方法如下:在一定厚度的Al2O3衬底上,利用金属有机物化学气相沉积技术先生长n?BN,而后生长未掺杂的i?GaN,最后生长p?GaN,再用感应耦合等离子体刻蚀出n?BN,最后用电子束蒸发在n?BN和p?GaN层分别蒸镀欧姆接触金属电极,完成中子探测器的制作。本发明制备工艺简单、无需单独制备中子转换层,能量分辨率高、探测效率高且结构简单,在航空航天探索、核能利用与开发、放射性同位素的产生应用以及一些特殊领域有重要的应用价值。
声明:
“p GaNi GaN n BN中子探测器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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