合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 氧化物的刻蚀工艺的监测方法

氧化物的刻蚀工艺的监测方法

1232   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 07:25:18
一种氧化物的刻蚀工艺的监测方法,所述方法包括:提供半导体衬底,所述半导体衬底的表面形成有氧化物;刻蚀去除所述氧化物的至少一部分;采用化学溶液清洗所述半导体衬底的表面,所述化学溶液能够与所述半导体衬底反应,而未能与所述氧化物反应;检测清洗后的半导体衬底的表面,以确定是否存在残留的氧化物。本发明方案可以更准确地检测到氧化物刻蚀缺陷,从而及时地确认刻蚀工艺的异常状况,有助于保证产品良率。
声明:
“氧化物的刻蚀工艺的监测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
化学分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
电动汽车超充时代到来!宁德时代发布神行PLUS电池 方圆公司赴台技术服务团队凯旋 企业风采 | 青铜峡铝业股份有限公司宁东铝业分公司 铜业百科 | 辨别纯铜的方法有哪些 小知识 | 钛合金是如何制造锻压的?它可以运用到哪些领域? Mysteel统计:2023年全球电解铝企业产量TOP15,中国前7席 工信部发布第四批《减免车辆购置税的新能源汽车车型目录》 中国十大金矿排名!紫金山金铜矿居榜首 小知识 | 铝矾土和铝矿石、铝土矿的区别 萤石小知识 | 萤石产地在哪?萤石矿的伴生矿有哪些? 特斯拉交付量远低于市场预期,正丧失中国市场主动权 关于皮带机转运溜槽块料检堵解决方案的研究与改进 | 际科工业控制系统(天津)有限公司与您相约湖南长沙第二届金属矿山采矿设备供应商大会暨标准讨论会! 矿山安全 | 露天矿山开采的五大防护措施 2025年8月中国动力电池行业报告:龙头企业优势明显 2025年锂电池行业十大变革性技术 为减少进口依赖,欧洲时隔10年重启镁矿开采 磷酸铁锂电池组电芯压差变大的原因及解决方法 衡阳市市委书记秦国文到株冶有色调研 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(一) 生态环境部印发《固体废物分类与代码目录》,废旧锂电池正式纳入固废管理 亿纬锂能:2023年实现总营收飙升,同比增长34.38% 两轮电动车迎来“刀片电池”时代!续航突破 500 公里,电池终身免更换 最快2023年上市!超级“核电池”无需充电能正常使用90年之久 冶金百科 | 有色冶金企业单位产品能源消耗——铝冶金企业单位产品能源消耗 中原关键金属实验室主任何季麟:建设国家级关键金属创新高地 恒邦股份荣登2021年《财富》中国500强排行榜294位 维里迪斯矿业公司稀土矿项目回收率达到世界最高水平 有色金属冶炼行业节能降碳改造升级实施指南 被关停!紫金矿业刚果(金)铜钴矿部分产品辐射含量超标 冶金百科 | 铜冶金-湿法炼铜小知识(四)
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记