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光纤氢气传感器用氢敏材料及其制备方法

1230   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:04:30
本发明公开了一种光纤氢气传感器用氢敏材料及其制备方法。该薄膜材料包括基底和合金薄膜;基底的材料为金属、半导体或绝缘体材料;合金薄膜材料基本成分为Pd和Y,化学组成为Pd[1-x-y]Y[x]α[y],其中α为Pt、Ag、Au、Ni、Cu、Al、Li和B中的任一种,或者为La、Ru、Ce、Pr、Nd和Pm中的至少一种,0<x≤0.3,0≤y≤0.3;合金薄膜材料厚度2~1000nm。制备方法,首先用感应熔炼或粉末冶金方法预制合金靶,然后通过物理气相层积方法,在基片上制成合金薄膜材料;或者利用多个纯靶材,直接在基片材料上多靶共溅层积,制成合金薄膜材料。光纤氢气传感器具有抗干扰能力强,安全性好,可靠性高的特点。可广泛用于各种需要检测氢气泄露的情况。
声明:
“光纤氢气传感器用氢敏材料及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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