本实用新型属于一种检测装置,特别涉及一种可有效地检出晶片表面或晶片亚表面的微小缺陷和沾污的抛光表面检测仪。由机箱、控制装置和置于机箱内的光源装置、样品输送装置、成象屏、摄像装置组成;本实用新型的优点是:1.可准确地检测出材料抛光表面的质量状况,提高产品合格率,从而降低成本。2.本实用新型为无损检测造价较低。3.检测费用低廉。
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