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电镜原位加热装置结合焊料的纳米焊接方法

1330   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 08:58:59
本发明公开了一种电镜原位加热装置结合焊料的纳米焊接方法。本发明焊接过程均在SEM‑FIB中进行,利用位于扫描电镜腔室内的原位加热装置对焊接部位进行加热,同时借助离子束清洗焊接区域,去除纳米材料表层的杂质(如焊料表面氧化物,碳类化合物,有机物等),只使焊料变成熔融状态,而对母体材料无损伤,通过保温一定时间,熔融焊料与同样被加热的母体材料发生持续且强烈的扩散作用,最终实现焊接纳米图案的目的。本发明可精确控制加热温度,只使低熔点的焊料发生融化,而对母体材料无损伤,对于焊接高熔点的氧化物半导体纳米材料具有显著的优势。该焊接方法可实时观测整个焊接过程,可控性极强且方便快捷,可同时实现多处纳米图案的焊接,效率高。
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“电镜原位加热装置结合焊料的纳米焊接方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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