1.本实用新型涉及一种晶圆分选机部件，具体地说，是一种晶圆分选机的一体式托盘取收机构。
背景技术：
2.晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。晶圆加工过程中，由于外界因素会导致生产的晶圆种类和质量有所不同，通常在自动光学检测机中进行aoi测试，对晶圆的种类、质量进行检测后，然后依据种类及质量的不同对晶圆进行分选，把不同的晶圆分隔开来。
3.目前，晶圆的分选工艺主要是通过人工进行分选，分选工人需要对每片晶圆进行仔细检查后进行归类放置，不但分选效率低，劳动强度大，分选成本高，且人工分选无法对衬底号进行排序，在分选过程中，由于人员操作不细心等各种主观原因易导致分选错误，且在分选时易对晶圆造成划伤，会导致晶圆直接报废或降级处理，直接影响晶圆的生产质量及产品合格率。因此，开发一种晶圆自动分选机，不但具有迫切的研究价值，也具有良好的经济效益和工业应用潜力。
4.在晶圆分选机的工作循环中，晶圆需要装载在托盘进行检测上下料作业，故托盘的取收是一个重要的工作部分，传统的自动化晶圆分选设备中采用的是取收分离式的供料机构，取盘机构和放盘机构分列在分选机构的两端，这种分离式的托盘供料取收机构不利于机构的精简，会延长整体设备的长度。
技术实现要素：
5.发明目的：本实用新型目的在于针对现有技术的不足，提供一种晶圆分选机的一体式托盘取收机构。
6.技术方案：本实用新型所述一种晶圆分选机的一体式托盘取收机构，包括取收平台以及架设在取收平台上的取盘机构和收盘机构，所述取盘机构包括取盘驱动轨道和架设在取盘驱动轨道顶端的供盘弹夹仓，所述收盘机构包括收盘驱动轨道和架设在收盘驱动轨道顶端的收盘弹夹仓，所述取盘驱动轨道和收盘驱动轨道平行设置且供盘弹夹仓和收盘弹夹仓分别设置在取盘驱动轨道和收盘驱动轨道的同一端。
7.作为优选的，所述取盘驱动轨道包括取盘轨道和紧贴取盘轨道两侧壁的取盘带式输送机，所述收盘驱动轨道包括收盘轨道和紧贴收盘轨道两侧壁的收盘带式输送机。
8.作为优选的，所述取盘带式输送机一侧设有配合的托盘精定位装置。
9.作为优选的，所述托盘精定位装置包括架设在取盘带式输送机一侧的伸缩定位顶杆。
10.作为优选的，所述供盘弹夹仓包括供盘夹具以及架设在供盘夹具上的供料托举组件和阻挡气缸，所述收盘弹夹仓包括收盘夹具以及架设在收盘夹具上的收料托举组件和防跌落装置。
11.作为优选的，所述防跌落装置包括安装在收盘夹具上的若干个翻转式卡扣。
12.本实用新型相比于现有技术具有以下有益效果：将晶圆分选机中用于装载晶圆的托盘在晶圆上下料的过程中实现了同平面同侧的取盘和收盘作业，有效提高了设备的整体性，减小了托盘及托盘上晶圆在检测分拣作业中行进的行程。
附图说明
13.图1为本实用新型一种晶圆分选机的一体式托盘取收机构的结构示意图。
14.图中：1、取收平台；2、取盘轨道；3、取盘带式输送机；4、伸缩定位顶杆；5、供盘弹夹仓；51、供盘夹具；52、供料托举组件；53、阻挡气缸；6、收盘轨道；7、收盘带式输送机；8、收盘弹夹仓；81、收盘夹具；82、收料托举组件；83、翻转式卡扣。
具体实施方式
15.下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
16.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
17.在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，也可以是成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，也可以是通讯连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介的间接连接，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
18.下面以具体地实施例对本发明的技术方案进行详细说明。下面这几个具体的实施例可以相互结合，对于相同或相似的概念或过程可能在某些实施例不再赘述。
19.一种晶圆分选机的一体式托盘取收机构，包括取收平台1以及架设在取收平台1上的取盘机构和收盘机构，取盘机构包括取盘驱动轨道和架设在取盘驱动轨道顶端的供盘弹夹仓5，收盘机构包括收盘驱动轨道和架设在收盘驱动轨道顶端的收盘弹夹仓8，取盘驱动轨道和收盘驱动轨道平行设置且供盘弹夹仓5和收盘弹夹仓8分别设置在取盘驱动轨道和收盘驱动轨道的同一端。取盘驱动轨道和收盘驱动轨道均根据实际生产需要设置若干组并平行架设在取收平台1上，构建了基础的上下料工作平面；采用供盘弹夹仓5和收盘弹夹仓8作为托盘的基础供给部和收纳部，可以实现大量托盘的一次性装载和取出，从而可以取消传统设备中需往复工作的机械手，在保证循环效率的前提下极大的降低了设备的硬件成本。这一技术方案的优点在于将晶圆分选机中用于装载晶圆的托盘在晶圆上下料的过程中实现了同平面同侧的取盘和收盘作业，有效提高了设备的整体性，减小了托盘及托盘上晶
圆在检测分拣作业中行进的行程。
20.具体的，取盘驱动轨道包括取盘轨道2和紧贴取盘轨道2两侧壁的取盘带式输送机3，收盘驱动轨道包括收盘轨道6和紧贴收盘轨道6两侧壁的收盘带式输送机7，取盘带式输送机3一侧设有配合的托盘精定位装置，托盘精定位装置包括架设在取盘带式输送机3一侧的伸缩定位顶杆4，供盘弹夹仓5包括供盘夹具51以及架设在供盘夹具51上的供料托举组件52和阻挡气缸53，收盘弹夹仓8包括收盘夹具81以及架设在收盘夹具81上的收料托举组件82和防跌落装置，防跌落装置包括安装在收盘夹具81上的若干个翻转式卡扣83。
21.具体实施时，人工或配套上料机械手将满载晶圆的托盘放入供盘夹具51，随后供盘夹具51下方的供料托举组件52上升至供盘夹具51底部，准备接住最底部托盘，托盘侧面的阻挡气缸53执行放行动作，供盘托举组件下降一片托盘的高度，托盘侧面阻挡气缸53执行阻挡动作，即阻止除最底部托盘外上部叠放的托盘的下降动作，随后供盘托举组件继续下降，直至搭载的最底部的单片托盘与下方的取盘带式输送机3两侧的输送带接触并将托盘运送到测试区域的待抓取位置，同时伸缩定位顶杆4作为托盘精定位装置执行精确定位动作，测试作业完成后，合格的晶圆由检测部运送至收盘轨道6的末端并由收盘带式输送机7驱动运送至收盘夹具81，随后收料托举组件82执行顶升动作将进入收盘夹具81顶升至一片托盘的高度，随后翻转式卡扣83作为防跌落装置执行翻转定位动作，在紧贴收盘轨道6的区域留下下一块托盘的容置空间，如此往复完成收盘作业。
22.在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一特征和第二特征直接接触，或第一特征和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可以是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。 第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度低于第二特征。在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”或“一些示例”等的描述，意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。
23.而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任意一个或者多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
24.最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。技术特征：
1.一种晶圆分选机的一体式托盘取收机构，包括取收平台以及架设在取收平台上的取盘机构和收盘机构，其特征在于：所述取盘机构包括取盘驱动轨道和架设在取盘驱动轨道顶端的供盘弹夹仓，所述收盘机构包括收盘驱动轨道和架设在收盘驱动轨道顶端的收盘弹夹仓，所述取盘驱动轨道和收盘驱动轨道平行设置且供盘弹夹仓和收盘弹夹仓分别设置在取盘驱动轨道和收盘驱动轨道的同一端。2.根据权利要求1所述的一种晶圆分选机的一体式托盘取收机构，其特征在于：所述取盘驱动轨道包括取盘轨道和紧贴取盘轨道两侧壁的取盘带式输送机，所述收盘驱动轨道包括收盘轨道和紧贴收盘轨道两侧壁的收盘带式输送机。3.根据权利要求2所述的一种晶圆分选机的一体式托盘取收机构，其特征在于：所述取盘带式输送机一侧设有配合的托盘精定位装置。4.根据权利要求3所述的一种晶圆分选机的一体式托盘取收机构，其特征在于：所述托盘精定位装置包括架设在取盘带式输送机一侧的伸缩定位顶杆。5.根据权利要求1所述的一种晶圆分选机的一体式托盘取收机构，其特征在于：所述供盘弹夹仓包括供盘夹具以及架设在供盘夹具上的供料托举组件和阻挡气缸，所述收盘弹夹仓包括收盘夹具以及架设在收盘夹具上的收料托举组件和防跌落装置。6.根据权利要求5所述的一种晶圆分选机的一体式托盘取收机构，其特征在于：所述防跌落装置包括安装在收盘夹具上的若干个翻转式卡扣。
技术总结
本实用新型公开一种晶圆分选机的一体式托盘取收机构，包括取收平台以及架设在取收平台上的取盘机构和收盘机构，所述取盘机构包括取盘驱动轨道和架设在取盘驱动轨道顶端的供盘弹夹仓，所述收盘机构包括收盘驱动轨道和架设在收盘驱动轨道顶端的收盘弹夹仓，所述取盘驱动轨道和收盘驱动轨道平行设置且供盘弹夹仓和收盘弹夹仓分别设置在取盘驱动轨道和收盘驱动轨道的同一端，本实用新型的优点在于将晶圆分选机中用于装载晶圆的托盘在晶圆上下料的过程中实现了同平面同侧的取盘和收盘作业，有效提高了设备的整体性，减小了托盘及托盘上晶圆在检测分拣作业中行进的行程。盘上晶圆在检测分拣作业中行进的行程。盘上晶圆在检测分拣作业中行进的行程。
技术研发人员：季林 卞则军
受保护的技术使用者：苏州博康智能科技有限公司
技术研发日：2021.10.26
技术公布日：2022/4/21
声明：
“晶圆分选机的一体式托盘取收机构的制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色技术网
来源：苏州博康智能科技有限公司
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