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磁控溅射靶源

磁控溅射靶源

253
规格/型号：暂无
品牌：科睿设备
应用领域：检测设备
产地：上海 - 上海
厂家/供应商：科睿设备有限公司
咨询电话:：852-2710-8200（请说明信息源自“中冶有色网”）
更新时间：2025-06-16
级别：待认证

磁控溅射靶源说明介绍

磁控溅射靶源

磁控溅射靶源


磁控溅射靶源是一种专为超高真空系统（1e-11 Torr）设计的商业用溅射源，能够在不配置弹性垫圈的结构中烘烤至250℃，实现超高纯度的溅射沉积。它适用于金属、电介质和复合物的沉积。设备提供多种靶材尺寸（如1英寸、2英寸、3英寸等），靶材厚度最低可达4mm，有效节约靶材。溅射源法兰带有气体管道，提升溅射操作时的真空度。支持手动或马达驱动挡板，可原位倾斜（±30°），配备气体流量控制，支持全自动化进程，冷却水流量低（仅0.5L/min），占用空间小，适合高真空环境使用。

我司提供的磁控溅射源是目前唯一和超高真空系统(1e-11torr)匹配的商业用溅射源。 在不配置弹性垫圈的结构中，可烘烤至250℃。在匹配的超高真空环境下，可以实现超高纯度的溅射沉积。

应用范围：

金属沉积；

电介质沉积；

复合物沉积。

技术参数:

不同型号溅射源可以选用不同靶材尺寸 .1”,2”,3” 等各种靶材尺寸均可使用;

靶材厚度薄,最低4mm,节约靶材;

溅射源法兰上带有气体管道，以便提高操作溅射源时的真空。

手动/马达驱动 挡板

溅射源可设计成原位倾斜，倾斜角度(+/-30º)

气体流量控制

进程全自动化

真空中可烘烤至250摄氏度;

占用空间小;

冷却水流量低,仅0.5L/min

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磁控溅射靶源 检测设备
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