权利要求书： 1.一种LED-MOCD制程废气全温程变压吸附提氢再利用的方法，其特征在于，包括如下步骤：
(1)原料气，即常压或低压的MOCD制备基于氮化镓外延片生长的发光二极管制程中的废气，其主要组成为氮气、氢气、氨气，以及及少量的金属离子、颗粒、砷烷、甲烷、水、一氧化碳、二氧化碳、氧气，以及其它杂质组分，压力为常压或低压，温度为20～120℃；
(2)预处理，原料气经鼓风机送入由原料气缓冲罐、除尘器、除颗粒过滤器、除油雾捕集器、冷却器、氨吸收塔、氨水储罐、冷热量交换器组成的预处理单元，在常压或小于0.3MPa压力、20～120℃温度的操作条件下，原料气经缓冲罐流出，先后经过脱除尘埃、颗粒、油雾、其它可溶性于水的杂质组分以及大部分氨气，在0.2～0.3MPa压力、20～120℃温度的条件下，进入下一个工序，即精脱氨工序；
(3)精脱氨，将来自预处理工序的原料气，经压缩至1.0～4.0MPa，进入由水洗塔与变温吸附塔组成的精脱氨工序，经过水洗、变温吸附进一步脱除氨与其它水溶性或极性较强的微量杂质后，形成低沸点混合组分的中间气体，在1.0～4.0MPa压力、20～120℃温度的条件下，进入下一个工序，即，脱氧工序；其中，变温吸附塔再生载气是来自后续工序，深度脱水的部分解吸气，经再生后形成的再生气体，与来自预处理工序的原料气混合，进入精脱氨工序进一步回收再生气体中所含的有效组分氢气；
(4)脱氧，来自精脱氨工序的低沸点混合组分的中间气体，在1.0～4.0MPa压力、20～
120℃温度的条件下进入负载有金属活性组分的催化剂的脱氧器，进行深度脱氧后，进入下一个工序，即变压吸附提氢工序；
(5)变压吸附提氢，来自经脱氧后的低沸点混合组分的中间气体，进入至少由4塔组成的多塔变压吸附提纯氢气工序，吸附塔的操作压力为1.0～4.0MPa，操作温度为20～120℃，至少一个吸附塔处于吸附步骤，其余吸附塔处于解吸再生步骤，所形成的非吸附相气体为超高纯氢气，其纯度为99.999～99.9999％(v/v)，进入下一工序，即深度脱水工序；变压吸附提氢工序的吸附剂采用活性氧化铝、硅胶、活性炭、分子筛的一种或多种组合；解吸时，采用至多3次的缓均方式进行均压，并采用冲洗或冲洗加抽真空方式，所形成的解吸气，一部分直接排放，符合国家
声明：
“LED-MOCVD制程废气全温程变压吸附提氢再利用的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色网
来源：浙江天采云集科技股份有限公司
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2025年06月20日 ~ 22日 
