权利要求书： 1.震动抛光机，其特征在于，包括：主轴机构，包括夹头、轴体和主轴驱动单元，所述夹头与所述轴体连接，所述夹头用于固定劈刀，所述主轴驱动单元能驱动所述轴体自转；振动机构，包括振动驱动单元，所述振动驱动单元能驱动所述轴体沿自身轴向振动；研磨机构，包括研磨部，所述研磨部能伸入到劈刀的内孔中实施研磨，所述主轴驱动单元和所述振动驱动单元能同时工作，所述轴体能带动所述夹头和劈刀进行自转和轴向振动。2.根据权利要求1所述的震动抛光机，其特征在于：所述主轴机构还包括筒体，所述筒体的内壁与所述轴体的外壁之间为间隙配合，所述筒体上设有若干气道，压缩空气能通过所述气道被注入到所述筒体与所述轴体之间。3.根据权利要求1所述的震动抛光机，其特征在于：所述主轴机构还包括底座，所述主轴驱动单元为皮带轮机构，所述底座与所述轴体连接，所述主轴驱动单元能通过皮带驱动所述底座和所述轴体自转。4.根据权利要求3所述的震动抛光机，其特征在于：所述振动机构还包括摇臂，所述摇臂的一端铰接在机架上，所述振动机构还包括凸轮，所述振动驱动单元能带动所述凸轮转动，所述凸轮与所述摇臂相互抵靠，所述凸轮能通过转动带动所述摇臂往复摆动，所述摇臂与所述底座相互抵靠，所述摇臂能通过摆动带动所述底座和所述轴体振动。5.根据权利要求4所述的震动抛光机，其特征在于：所述摇臂上还设有第一滚轮和第二滚轮，所述第一滚轮和第二滚轮与所述摇臂转动连接，所述第一滚轮与所述凸轮接触，所述第二滚轮与所述底座接触。6.根据权利要求1所述的震动抛光机，其特征在于：所述研磨机构还包括夹持部和升降单元，所述夹持部能夹紧所述研磨部，所述升降单元能带动所述夹持部和所述研磨部移动。7.根据权利要求1所述的震动抛光机，其特征在于：所述研磨部为钢丝。8.根据权利要求1所述的震动抛光机，其特征在于：所述研磨部的形状是截面为圆形的长条状。9.根据权利要求1至8任意一项所述的震动抛光机，其特征在于：所述震动抛光机还包括摄像单元，所述摄像单元能通过图像采集来监测研磨部与劈刀之间的相对位置。 说明书： 震动抛光机技术领域[0001] 本实用新型涉及研磨抛光设备，特别涉及震动抛光机。背景技术[0002] 劈刀是指微电子封装领域中的焊接劈刀。在微电子封装领域，集成电路芯片之
声明：
“震动抛光机” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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编辑：中冶有色网
来源：潮州三环(集团)股份有限公司
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2025年05月09日 ~ 11日 
