权利要求书： 1.一种直线电机，其特征在于，所述直线电机包括：
传动轴(10)；
至少两个驱动机构(20)，沿第一方向(X)并列且间隔设置，各所述驱动机构(20)均包括基座(21)、设于基座(21)上的定子(22)与导向组件(24)、以及与所述定子(22)配合的动子(23)，所述定子(22)用于驱使所述动子(23)沿第二方向(Y)线性运动，各所述动子(23)均与所述传动轴(10)连接，所述导向组件(24)包括设于所述基座(21)上的导轨(241)、及沿所述第二方向(Y)滑动设于所述导轨(241)上的滑块(242)，用于对所述传动轴(10)沿所述第二方向(Y)的运动进行导向，所述滑块(242)位于所述动子(23)沿与所述第二方向(Y)相交的方向的一侧，所述第一方向(X)与所述第二方向(Y)相交；
其中，各所述驱动机构(20)还包括具有形变功能的缓冲件(25)，所述滑块(242)通过所述缓冲件(25)与所述动子(23)连接。
2.根据权利要求1所述的直线电机，其特征在于，各所述动子(23)与所述传动轴(10)之间均连接有第一安装件(231)，所述滑块(242)上设有与所述第一安装件(231)间隔的第二安装件(243)，所述缓冲件(25)连接于所述第一安装件(231)与所述第二安装件(243)之间。
3.根据权利要求2所述的直线电机，其特征在于，所述缓冲件(25)具有形变面(256)，所述形变面(256)覆盖并连接于所述第一安装件(231)与所述第二安装件(243)的同一侧。
4.根据权利要求3所述的直线电机，其特征在于，各所述驱动机构(20)还包括第一固定件(251)与第二固定件(252)，所述第一固定件(251)与所述第二固定件(252)分别用于将所述形变面(256)对应压接在所述第一安装件(231)与所述第二安装件(243)上。
5.根据权利要求2所述的直线电机，其特征在于，在所述第一安装件(231)与所述第二安装件(243)之间的间隔方向上，所述缓冲件(25)的整体长度记为L1,所述缓冲件(25)在所述第一安装件(231)和所述第二安装件(243)之间悬空的部分长度记为L2，其中，3:5≤L2：L1≤5:7。
6.根据权利要求2所述的直线电机，其特征在于，所述缓冲件(25)包括主体(253)及连
声明：
“直线电机及半导体制备系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色网
来源：东莞联鹏智能装备有限公司
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2025年06月20日 ~ 22日 
