单晶炉排气管道

511 编辑：中冶有色技术网来源：辽宁博芯科半导体材料有限公司

2024-01-16 15:16:41

权利要求书： 1.一种单晶炉排气管道，包括固定连接的连接管(1)和竖直管(2)，其特征在于：所述连接管(1)和竖直管(2)的侧壁分别开设有第一通孔(5)和第二通孔(6)，所述连接管(1)和竖直管(2)的外侧壁分别装配有第一保护组件(3)和第二保护组件(4)，所述竖直管(2)的底端通过固定螺栓(7)固定装配有封盖(8)，所述竖直管(2)的顶端通过固定螺丝(10)固定装配有端盖(9)。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉排气管道，其特征在于：所述第一保护组件(3)包括第一安装座(31)，所述第一安装座(31)一体成型于连接管(1)的侧壁，所述第一安装座(31)内转动连接有第一保护罩(32)，所述第一保护罩(32)的侧壁均匀开设有第一连接孔(33)，所述第一保护罩(32)的两端分别开设有第一卡槽(34)，所述第一安装座(31)的顶部插接有贯穿至第一卡槽(34)内的第一卡销(35)，所述第一保护罩(32)的侧壁固定连接有第一固定板(36)。

3.根据权利要求1所述的一种单晶炉排气管道，其特征在于：所述第二保护组件(4)包括第二安装座(41)，所述第二安装座(41)一体成型于竖直管(2)的侧壁，所述第二安装座(41)内转动连接有第二保护罩(42)，所述第二保护罩(42)的侧壁开设有第二连接孔(43)，所述第二保护罩(42)的顶部开设有第二卡槽(44)，所述第二安装座(41)的顶部插接有贯穿至第二卡槽(44)内的第二卡销(45)，所述第二保护罩(42)的侧壁固定连接有第二固定板(46)。

4.根据权利要求1所述的一种单晶炉排气管道，其特征在于：所述第一通孔(5)均匀开设在连接管(1)的顶部侧壁，所述第二通孔(6)呈轴对称均匀开设在竖直管(2)的侧壁。

5.根据权利要求1所述的一种单晶炉排气管道，其特征在于：所述端盖(9)包括底座(91)，所述底座(91)通过固定螺丝(10)与竖直管(2)的顶端相固定连接，所述底座(91)的顶部通过支撑轴(92)固定连接有顶部固定座(93)，所述顶部固定座(93)的顶部装配有顶部盖体(94)，所述顶部盖体(94)的底部固定连接有贯穿至支撑轴(92)内腔的伸缩轴(95)。

说明书：一种单晶炉排气管道技术领域[0001] 本实用新型涉及单晶炉技术领域，具体涉及一种单晶炉排气管道。背景技术[0002] 单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。而排气管道又是单晶炉内的重要组成部分，现有的排气管道在单晶炉加工完成后需要进行清洁处理，而单晶炉在加工完成后排气管道内的温度较高，导致一些残留的化学物质形成易爆炸的气体，若是直接对排气管道内进行清洁处理，很容易发生意外，对操作人员的人身安全造成危害。为此，我们提出一种单晶炉排气管道。实用新型内容

[0003] 本实用新型的目的在于提供一种单晶炉排气管道，以解决上述背景技术中提出的问题。[0004] 为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种单晶炉排气管道，包括固定连接的连接管和竖直管，所述连接管和竖直管的侧壁分别开设有第一通孔和第二通孔，所述连接管和竖直管的外侧壁分别装配有第一保护组件和第二保护组件，所述竖直管的底端通过固定螺栓固定装配有封盖，所述竖直管的顶端通过固定螺丝固定装配有端盖。[0005] 优选的，所述第一保护组件包括第一安装座，所述第一安装座一体成型于连接管的侧壁，所述第一安装座内转动连接有第一保护罩，所述第一保护罩的侧壁均匀开设有第一连接孔，所述第一保护罩的两端分别开设有第一卡槽，所述第一安装座的顶部插接有贯穿至第一卡槽内的第一卡销，所述第一保护罩的侧壁固定连接有第一固定板。[0006] 优选的，所述第二保护组件包括第二安装座，所述第二安装座一体成型于竖直管的侧壁，所述第二安装座内转动连接有第二保护罩，所述第二保护罩的侧壁开设有第二连接孔，所述第二保护罩的顶部开设有第二卡槽，所述第二安装座的顶部插接有贯穿至第二卡槽内的第二卡销，所述第二保护罩的侧壁固定连接有第二固定板。[0007] 优选的，所述第一通孔均匀开设在连接管的顶部侧壁，所述第二通孔呈轴对称均匀开设在竖直管的侧壁。[0008] 优选的，所述端盖包括底座，所述底座通过固定螺丝与竖直管的顶端相固定连接，所述底座的顶部通过支撑轴固定连接有顶部固定座，所述顶部固定座的顶部装配有顶部盖体，所述顶部盖体的底部固定连接有贯穿至支撑轴内腔的伸缩轴。[0009] 与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：一种单晶炉排气管道，将连接管与竖直管组成排气管道，分别在连接管和竖直管的侧壁开设有第一通孔和第二通孔，在单晶炉进行使用时，通过第一保护组件和第二保护组件增加连接管与竖直管的整体强度的同时，第一保护组件和第二保护组件也可以控制第一通孔和第二通孔的开启与关闭，单晶炉使用完成后通过开启第一通孔和第二通孔，使外部的空气进入到连接管与竖直管内，对其内部的易爆炸气体进行氧化，便于后续操作人员对连接管与竖直管内腔的清洁，减少安全隐患。附图说明[0010] 图1为本实用新型的立体图。[0011] 图2为本实用新型第一通孔和第二通孔封闭的结构示意图。[0012] 图3为本实用新型第一通孔和第二通孔开启的结构示意图。[0013] 图4为图3中的a处细节图。[0014] 图5为图3中的b处细节图。[0015] 图中：1、连接管，2、竖直管，3、第一保护组件，31、第一安装座，32、第一保护罩，33、第一连接孔，34、第一卡槽，35、第一卡销，36、第一固定板，4、第二保护组件，41、第二安装座，42、第二保护罩，43、第二连接孔，44、第二卡槽，45、第二卡销，46、第二固定板，5、第一通孔，6、第二通孔，7、固定螺栓，8、封盖，9、端盖，91、底座，92、支撑轴，93、顶部固定座，94、顶部盖体，95、伸缩轴，10、固定螺丝。具体实施方式[0016] 下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。[0017] 请参阅图1、图2、图3、图4和图5，本实用新型提供一种技术方案：一种单晶炉排气管道，包括连接管1和竖直管2，连接管1与竖直管2相互连通，连接管1和竖直管2分别装配有第一保护组件3和第二保护组件4，通过设置第一保护组件3和第二保护组件4加强连接管1和竖直管2的整体强度，加强连接管1和竖直管2在使用过程中的稳定性。[0018] 连接管1的顶部侧壁均匀开设有第一通孔5，竖直管2的侧壁呈左、右对称开设有第二通孔6，通过第一保护组件3和第二保护组件4分别对第一通孔5和第二通孔6的开启与关闭进行控制，在单晶炉使用的过程中，第一保护组件3和第二保护组件4分别对第一通孔5和第二通孔6进行封闭，保证其整体的密闭性，在单晶炉使用完成后，由于连接管1与竖直管2所组成的排气管内的温度较高，其内部还会残留例如一氧化硅、磷等气态物质，若是直接对连接管1和竖直管2进行清理，非常容易发生爆炸，对操作人员造成危害，故在清理前调节第一保护组件3和第二保护组件4，分别使第一通孔5和第二通孔6开启，外部的空气缓慢进入到连接管1和竖直管2内与其内部的易燃气体发生氧化，便于操作人员后续对连接管1和竖直管2内的清洁。[0019] 第一保护组件3包括第一安装座31，第一安装座31一体成型于连接管1的侧壁，第一安装座31呈两部分设置，在两部分的第一安装座31之间转动连接有第一保护罩32，第一保护罩32的侧壁均匀开设有与第一通孔5位置相对应的第一连接孔33，且第一保护罩32的两端分别开设有呈轴对称设置的第一卡槽34，第一安装座31的侧壁插接有贯穿至第一卡槽34内的第一卡销35，第一卡销35的顶部设置有固定环，通过设置固定环便于对第一卡销35与第一安装座31进行连接与拆卸，通过第一卡销35对第一保护罩32的角度进行固定，控制第一连接孔33与第一通孔5是否连通，第一保护罩32的侧壁一体成型有第一固定板36，通过设置第一固定板36便于对第一保护罩32进行转动。

[0020] 第二保护组件4包括第二安装座41，第二安装座41一体成型于竖直管2的外侧壁，第二安装座41同样呈两部分设置，两部分的第二安装座41呈上、下对称分布，第二保护罩42转动连接于第二安装座41之间，第二保护罩42的侧壁开设有呈轴对称分布的位置与第二通孔6相对应的第二连接孔43，第一保护罩32和第二保护罩42均采用石墨材料制作，具有较强的耐高温性能，第二连接孔43以及第二通孔6的数量多于第一连接孔33和第一通孔5的数量，可以加速对竖直管2以及连接管1内的易爆炸气体的氧化效率，第二保护罩42的顶部以其轴心处均匀分布有四个第二卡槽44，第二安装座41的顶部呈轴对称插接有两个第二卡销45，第二卡销45插接至第二卡槽44内对第二保护罩42的角度进行固定，第二保护罩42的侧壁同样一体成型有用于进行转动的第二固定板46。

[0021] 竖直管2的底部通过固定螺栓7固定装配有封盖8，封盖8用于对竖直管2的底部进行封闭，通过对封盖8的拆卸便于对竖直管2内进行清理。[0022] 竖直管2的顶部通过固定螺丝10装配有端盖9，端盖9可以用于气体的排放，同时端盖9也可以在单晶炉内发生渗水漏水等异常导致气压突然增大时，加大对气体的排放量，完成泄压。[0023] 端盖9包括底座91，底座91用于与竖直管2进行连接固定，底座91的顶部通过支撑轴92固定连接有顶部固定座93，顶部固定座93内装配有顶部盖体94，顶部盖体94的底部固定连接有贯穿至支撑轴92内腔的伸缩轴95，通过支撑轴92之间的空间进行气体的流通，在需要对竖直管2和连接管1内进行泄压时，气压向上顶出顶部盖体94，使顶部盖体94不再对顶部固定座93进行封闭，加大气体的流量，便于泄压，端盖9整体采用防爆钢材制作，具有较强的防爆性能。[0024] 工作原理：在使用的过程中将本实用新型的连接管1与单晶炉的炉体进行连接，在单晶炉进行生产的过程中，通过连接管1与竖直管2完成气体的向外排放，生产完毕后，通过炉钳等工具将第一卡销35和第二卡销45分别向上拉起，然后控制第一保护罩32和第二保护罩42转动，使第一通孔5、第二通孔6分别与第一连接孔33和第二连接孔43相连通，使外部的空气进入到连接管1和竖直管2内对其内部的气体进行氧化，完成对其内部的易爆炸气体的稀释后，打开底部的封盖8，对连接管1以及竖直管2的内部进行清洁。