权利要求书： 1.一种半导体材料的电解抛光装置，包括底板(1)，其特征在于，所述底板(1)的上端侧壁上固定连接有装置座(2)，所述装置座(2)的上端设有电解池(3)，所述电解池(3)上设有开口朝上的电解槽(4)，所述电解池(3)的一侧侧壁上设有恒流电源(5)，所述电解槽(4)靠近恒流电源(5)一侧的内壁上固定连接有阴极(6)，所述阴极(6)为铂电极，所述电解槽(4)的底部内壁中固定连接有承载垫(7)，所述阴极(6)通过第一导线(8)与恒流电源(5)的负极电连接，所述承载垫(7)的一侧侧壁上通过第二导线(9)与恒流电源(5)的正极电连接，所述承载垫(7)的上端侧壁上等间距设有多个阳极(11)，多个所述阳极(11)均为待抛光半导体材料，所述电解槽(4)内装盛有电解液(13)，所述电解液(13)浸没阴极(6)和阳极(11)，所述装置座(2)内设有加热装置，所述底板(1)上设有升降搅拌机构；所述承载垫(7)的上端侧壁上等间距设有多个承载槽(10)，多个所述阳极(11)分别设置在多个承载槽(10)内，多个所述阳极(11)均通过导电胶(12)与承载垫(7)电连接；所述加热装置包括设置在装置座(2)的侧壁中的陶瓷电加热板(15)，所述装置座(2)的上端侧壁上设有与电解池(3)位置相对应的放置槽(14)，所述电解池(3)的下端位于放置槽(14)内，所述陶瓷电加热板(15)设置在放置槽(14)的正下方；所述电解池(3)的一侧侧壁上固定连接有安装板(16)，所述恒流电源(5)的下端侧壁与安装板(16)的上端侧壁固定连接；所述升降搅拌机构包括固定连接在底板(1)的上端侧壁上的电动推杆(17)，所述电动推杆(17)输出轴的末端朝上固定连接有顶板(18)，所述顶板(18)的上端侧壁上通过安装座(19)固定连接有电机(20)，所述安装座(19)和顶板(18)的侧壁上共同贯穿设有通孔(21)，所述通孔(21)与电解池(3)为同轴心设置，所述电机(20)输出轴的末端贯穿通孔(21)并固定连接有搅拌框(22)，所述电机(20)的输出轴通过轴承与通孔(21)的内壁转动连接，所述搅拌框(22)的两侧侧壁上均等间距设有多个搅拌轴(23)，多个所述搅拌轴(23)均通过连接块(24)与搅拌框(22)的两侧侧壁固定连接；所述搅拌框(22)设置为矩形框体，多个
声明：
“半导体材料的电解抛光方法及装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：管理员
来源：江苏守航实业有限公司
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2025年06月20日 ~ 22日 
