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在石墨模板上大面积沉积碳化硅薄膜的制备方法

922   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 14:58:54
本发明公开了一种在石墨模板上大面积沉积碳化硅薄膜的制备方法,首先将氮化硅粉末和碳化硅粉末按照适当比例混合,添加无水乙醇在研砵中研磨,经清洗、干燥后将粉体装入匣钵中真空烧结,烧结温度为1900℃以上,保温时间为1h。本发明方法涉及的条件可控、操作简便、反应条件温和,所得碳化硅薄膜面积大且具有优异的稳定性,使得石墨模具寿命大大提高,为玻璃加热石墨模板改性技术提供了一条新途径,具有重要的经济和工程价值。
声明:
“在石墨模板上大面积沉积碳化硅薄膜的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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