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氧化铝靶材的制备方法

1119   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 14:59:02
本发明提供了一种氧化靶材的制备方法,属于靶材领域。本发明将靶材原料经混合球磨、喷雾干燥、压制成素坯、冷等静压压制、升温脱脂烧结以及升温有氧烧结后,先进行降温有氧烧结,再进行升温烧结,这样得到的氧化铝靶材密度更大,且无需进行真空烧结,对设备要求低,易于实现批量生产,并且能生产大尺寸平面靶材,如1m×1m的靶材,所得大尺寸平面靶材不易出现弯曲和开裂的问题。
声明:
“氧化铝靶材的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
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