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多晶硅铸锭炉用坩埚盖板及盖板表面涂层方法

930   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-18 15:02:02
本发明涉及一种多晶硅铸锭炉用坩埚盖板及盖板表面涂层方法,采用化学气相沉积与高温处理相结合的工艺方法在炭/炭复合材料盖板的外表面制备出致密、结合力强的SiC涂层,降低多晶硅铸锭的碳含量、延长盖板的使用寿命,尤其适用于多晶硅铸锭炉用盖板的开发和应用。
声明:
“多晶硅铸锭炉用坩埚盖板及盖板表面涂层方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
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