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掩模板的清洗系统和清洗方法

794   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:12:44
本发明实施例公开了一种掩模板的清洗系统和清洗方法。该掩模板的清洗系统包括：掩模板支撑设备和清洗设备，所述掩模板支撑设备用于支撑掩模板；所述清洗设备用于向所述掩模板的表面吹超声波气体，所述超声波气体为经超声波处理的气体；所述超声波气体的流速大于预设速度，以在所述掩模板表面形成空化泡，清洗所述掩模板表面的污渍。与现有技术相比，本发明实施例在确保对掩模板的清洗效果的基础上，减少了药液用量、减少了产生的废液量以及降低了危险性。
声明：
“掩模板的清洗系统和清洗方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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