合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 终点检测精度高的化学机械抛光垫、制备方法及其应用

终点检测精度高的化学机械抛光垫、制备方法及其应用

1053   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 06:38:39
本发明公开了一种终点检测精度高的化学机械抛光垫、制备方法及其应用,所述化学机械抛光垫具有独特的类“三明治”结构的检测窗,包括顶层、中间层和底层,所述中间层由高折射率材料构成,保证了抛光过程中具有较高的终点检测精度,所述顶层与底层结构保证了抛光过程中的窗口块体与其他部分的抛光层具有相似的抛光性能及压缩性能。本发明的化学机械抛光垫具有终点检测精度高、抛光缺陷少等优点,适用于磁性基片、光学基片或半导体基片的化学机械抛光。
声明:
“终点检测精度高的化学机械抛光垫、制备方法及其应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
化学分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
恩捷股份硫化锂量产获突破 加速固态电池材料国产化进程 矿权出让!中国的最大的钒钛磁铁矿铁矿红格南矿区即将出让矿权 推动节能降碳!陕西省有色金属行业碳达峰实施方案发布 六大选矿工艺,搞定锂辉石选矿 展商推荐 | 威格科技(苏州)股份有限公司邀您出席第三届全国钒钛资源与储能科技大会 企业风采 | 青铜峡铝业股份有限公司宁东铝业分公司 坐在铜矿上的国家​:“铜矿之国”赞比亚到底有多“壕”? 储能电池出口迎来爆发式增长,锂电企业纷纷拓展海外市场 特斯拉交付量远低于市场预期,正丧失中国市场主动权 钨矿——工业之基,战争金属之王 火电回血、风光失速:大唐发电净利润飙涨47%掀起的“五大电力”排位战 冶金百科 | 有色金属冶金基础知识 四川生态修复带来大变化,废弃矿山变绿洲 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(四) 陕西:推出有色金属行业碳达峰实施方案,推动全产业链节能降碳 有色金属:六种战争金属性能详解 恒邦股份荣登2021年《财富》中国500强排行榜294位 新技术 | 3D打印与传统加工工艺材料、晶格结构的性能差异 亿纬锂能:2023年实现总营收飙升,同比增长34.38% 衡阳市市委书记秦国文到株冶有色调研 生态环境部印发《固体废物分类与代码目录》,废旧锂电池正式纳入固废管理 金属百科 | 锑的历史与发展 未来科技:太阳能面板与电池搭载无人机,随时随地享受阳光充能! 历史性时刻!中国新能源汽车的渗透率首次突破50% 军工材料中应用最广泛的金属结构材料——铝合金 萤石小知识 | 萤石产地在哪?萤石矿的伴生矿有哪些? Mysteel统计:2023年全球电解铝企业产量TOP15,中国前7席 小知识 | 铝矾土和铝矿石、铝土矿的区别 冶金百科 | 有色冶金固体废物排放情况 CWL-M离心萃取器助力打造湿法冶金绿色萃取车间
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记