合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 化学机械研磨终点的检测方法

化学机械研磨终点的检测方法

1274   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 06:42:45
本发明公开了一种化学机械研磨终点的检测方法,用于晶圆表面金属的研磨终点检测,该方法包括:步骤A,以单色光源照射晶圆表面的检测区域,接收来自检测区域的反射光,以检测区域内的反射光强的平均值与入射光强的比值作为表面金属的面积百分比;步骤B,当单位时间内、表面金属的面积百分比的变化值的绝对值大于等于预定数值时,则表面金属开始被部分去除;步骤C,当单位时间内、表面金属的面积百分比的变化值的绝对值小于第一预定数值时,则初步判断达到研磨终点;步骤D、以检测区域内局部区域的反射光强的最大值与入射光强的比值作为表面金属的最大值;当单位时间内、表面金属的最大值的变化值的绝对值小于预定数值时,则达到研磨终点。
声明:
“化学机械研磨终点的检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
化学分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
关于皮带机转运溜槽块料检堵解决方案的研究与改进 | 际科工业控制系统(天津)有限公司与您相约湖南长沙第二届金属矿山采矿设备供应商大会暨标准讨论会! 原来他们都是中南大学杰出校友! 电动汽车超充时代到来!宁德时代发布神行PLUS电池 新技术 | 3D打印与传统加工工艺材料、晶格结构的性能差异 填补国内空白!中国首个分布式光伏建设领域安全规程正式发布实施 没资质千万别碰!无证回收废电池违法! 衡阳市市委书记秦国文到株冶有色调研 火电回血、风光失速:大唐发电净利润飙涨47%掀起的“五大电力”排位战 有色金属:六种战争金属性能详解 恒邦股份荣登2021年《财富》中国500强排行榜294位 几秒钟即可充满!韩国研究团队在钠离子电池技术方面取得重大突破 维里迪斯矿业公司稀土矿项目回收率达到世界最高水平 2025年锂电池行业十大变革性技术 中原关键金属实验室主任何季麟:建设国家级关键金属创新高地 有色金属冶炼行业节能降碳改造升级实施指南 矿权出让!中国的最大的钒钛磁铁矿铁矿红格南矿区即将出让矿权 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(四) 动力电池向高能量密度迭代,固态电池成“兵家必争之地” 市场竞争加剧,锂电企业纷纷拿出“杀手锏” 2.86亿!复合材料龙头获得C轮融资 萤石小知识 | 萤石产地在哪?萤石矿的伴生矿有哪些? 2024年度邱定蕃有色冶金青年科技奖获奖名单 为减少进口依赖,欧洲时隔10年重启镁矿开采 日产全固态电池试点生产线预计2025年3月投入运营 储能电池出口迎来爆发式增长,锂电企业纷纷拓展海外市场 推动节能降碳!陕西省有色金属行业碳达峰实施方案发布 生态环境部印发《固体废物分类与代码目录》,废旧锂电池正式纳入固废管理 铝合金应用难题被攻克,服役温度从350℃提升至500℃ 方圆公司赴台技术服务团队凯旋 《钴产业发展报告(2025)》重磅发布--助你穿透行业迷雾,把握战略机遇
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记