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工件的化学机械研磨系统、演算系统、及化学机械研磨的模拟模型的制作方法

1167   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 06:55:30
一种工件的化学机械研磨系统、演算系统、及化学机械研磨的模拟模型的制作方法。本发明关于依据化学机械研磨的实测资料,将化学机械研磨的模拟模型最佳化的网络实体系统(CyberPhysicalSystem)。化学机械研磨系统具备:研磨工件(W)的研磨装置(1);及演算系统(47)。演算系统(47)具有至少包含输出包含研磨工件(W)的推定研磨率的推定研磨物理量的物理模型的模拟模型。演算系统(47)构成为:将研磨工件(W)的研磨条件输入模拟模型,并从模拟模型输出研磨工件(W)的推定研磨物理量,决定使推定研磨物理量接近研磨工件(W)的实测研磨物理量的模拟模型的模型参数。
声明:
“工件的化学机械研磨系统、演算系统、及化学机械研磨的模拟模型的制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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